[发明专利]音叉振荡器和其制造方法以及角速度传感器无效
| 申请号： | 200980133440.1 | 申请日： | 2009-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN102132128A | 公开（公告）日： | 2011-07-20 |
| 发明（设计）人： | 小栗慎也;多保田纯;小池雅人;清原友彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;G01P9/04;H03H9/02;H03H9/19;H03H9/215 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 音叉 振荡器 制造 方法 以及 角速度 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种音叉振荡器，其特征在于，
包括：
音叉型的振动体，其包含压电体基板，且具有基台部、和以从所述基台部平行地延伸的方式形成的脚部；以及
三个表面电极，其在所述振动体的一个主面上从所述基台部向所述脚部延伸而形成，且在所述基台部连接于电路基板，
所述三个表面电极由从所述基台部向所述脚部延伸的分割部所分割，
使至少位于与所述电路基板连接的连接部的所述分割部的宽度比所述脚部的所述分割部的宽度宽。
2.一种音叉振荡器的制造方法，是权利要求1所记载的音叉振荡器的制造方法，其特征在于，
包括：
在用于构成所述振动体的压电体基板上形成电极的工序；
使用切割机在所述电极上形成局部宽度不同的所述分割部的工序。
3.一种音叉振荡器的制造方法，是权利要求1所记载的音叉振荡器的制造方法，其特征在于，
包括：
在用于构成所述振动体的压电体基板上形成电极的工序；
通过激光照射在所述电极上形成局部宽度不同的所述分割部的工序。
4.一种音叉振荡器的制造方法，是权利要求1所记载的音叉振荡器的制造方法，其特征在于，
包括：
在用于构成所述振动体的压电体基板上形成电极的工序；
通过蚀刻在所述电极上形成局部宽度不同的所述分割部的工序。
5.一种角速度传感器，其包含权利要求1所述的音叉振荡器、或由权利要求2～4中任一项所述的制造方法形成的音叉振荡器。
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