[发明专利]写入策略

权利要求书

1.一种通过多个子束对目标进行曝光的方法，该方法包括：

-提供多个子束，所述多个子束被布置成阵列；

-提供要被曝光的目标；

-产生所述多个子束与所述目标之间在第一方向上的相对移动；

-在第二方向上移动所述多个子束，使得每个子束在所述目标上曝光多个平行的扫描线；

其中所述在第一方向上的相对移动和在所述多个子束在第二方向上的移动，使得通过所述多个子束曝光的相邻平行扫描线之间的距离小于阵列中的多个子束的子束之间在第一方向上的投影节距P_proj，X。

2.如前述权利要求中的任一项所述的方法，其中由所述多个子束曝光的相邻扫描线之间的距离等于所述投影节距P_proj，X除以K，其中K是大于1的正整数。

3.如权利要求2所述的方法，其中K等于阵列中的子束数目减去1的系数。

4.如前述权利要求中的任一项所述的方法，其中通过子束阵列内的相同子束曝光的连续的扫描线之间的距离小于阵列在第一方向上的投影尺寸。

5.如权利要求4所述的方法，其中由子束阵列中的相同子束曝光的连续的扫描线之间的距离等于，其中F_N-1是不等于1的(N-1)的系数，并且N是阵列中子束的数目。

6.一种通过多个子束对目标进行曝光的方法，该方法包括：

-提供多个子束，所述多个子束被布置成阵列；

-提供要被曝光的目标；

-产生所述多个子束与所述目标之间在第一方向上的相对移动；

-以多次扫描的方式在第二方向上移动所述多个子束，使得每个子束在所述目标上曝光多个平行的扫描线；

其中在第一方向上的相对移动和所述多个子束在第二方向上的移动，使得通过子束阵列内的相同子束曝光的连续的扫描线之间的距离小于阵列在第一方向上的投影尺寸，使得由于第二次扫描的一个或多个子束产生的扫描线与由于第一次扫描的一个或多个子束产生的扫描线相交错。

7.如权利要求6所述的方法，其中通过子束阵列内的相同子束曝光的连续的扫描线之间的距离等于，其中P_proj，X是阵列的子束之间在第一方向上的投影节距，且F_N-1是不等于1的(N-1)的系数，并且N是阵列中子束的数目。

8.如前述权利要求中的任一项所述的方法，其中在第一方向上的相对移动具有恒定的速度。

9.如前述权利要求中的任一项所述的方法，其中在第二方向上的移动是具有恒定频率的往复移动。

11.如前述权利要求中的任一项所述的方法，其中该方法进一步包括在所述目标上定义虚拟网格，该网格提供通过各个子束曝光或不曝光所述目标的位置，曝光或不曝光取决于各单独子束的消隐或不消隐。

12.如权利要求11所述的方法，其中所述虚拟网格包括被定向成与第一移动方向一致的第一轴，以及被定向成横切于所述第一轴的第二轴。

13.如权利要求11或12所述的方法，其中所述多个子束被划分成组，每组子束被布置成阵列，使得组中的子束不交迭，子束的阵列因此对应于网格中的位置的阵列。

14.如前述权利要求中的任一项所述的方法，其中阵列的子束之间在第一方向上的投影节距P_proj，X等于或小于投影在所述目标上的子束斑点尺寸。

15.如前述权利要求中的任一项所述的方法，其中子束的阵列包括多个行和多个列，行和列中的至少一个被定位成相对于所述第一方向和所述第二方向成不等于90度的角。

16.如前述权利要求中的任一项所述的方法，其中提供了多个子束阵列。

17.如前述权利要求中的任一项所述的方法，其中所述第一方向基本上垂直于所述第二方向。

18.如前述权利要求中的任一项所述的方法，其中子束的阵列形成单个图案化子束，该单个图案化子束是依照具有预订尺度的网格单元的光栅化的网格被图案化的。

19.一种计算机可读取介质，其在被处理器实行时用于执行通过前述权利要求中的任一项限定的带电粒子多子束系统中的多个子束对目标进行曝光的方法。