[发明专利]弹性波装置

权利要求书

1.一种弹性波装置，其特征在于，

包括：压电体，形成有多条沟槽；

IDT电极，具有一部分位于所述多条沟槽内的多个电极指；和

电介质层，以覆盖所述IDT电极的方式形成在所述压电体上，其频率温度系数的符号与所述压电体的频率温度系数的符号相反或相同，所述电介质层的频率温度系数的绝对值小于所述压电体的频率温度系数的绝对值，

所述电极指具有：第1电极层，位于所述沟槽的内部；和第2电极层，形成在所述第1电极层上、位于所述沟槽上端面的上侧，

所述第1电极层的平均密度ρ_a的3次方与平均硬度C44_a的乘积的开平方(ρ_a³×C44_a)^1/2大于第2电极层的平均密度ρ_b的3次方与平均硬度C44_b的乘积的开平方(ρ_b³×C44_b)^1/2。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，

满足(ρ_a³×C44_a)^1/2＞1.95×10¹¹＞(ρ_b³×C44_b)^1/2。

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其特征在于，

所述第1电极层实质由金属或合金组成，该金属是从Mo、Ta、Pt、Au和W组成的群中选择，该合金以从该群中选出的至少一种金属为主要成分。

4.根据权利要求1～3任意一项所述的弹性波装置，其特征在于，

所述第2电极层实质由金属或合金组成，该金属是从Al、Ti和Cu组成的群中选择，该合金以从该群中选出的至少一种金属为主要成分。

5.根据权利要求1～4任意一项所述的弹性波装置，其特征在于，

所述第1电极层和所述第2电极层的至少一方由多个金属膜组成。

6.根据权利要求5所述的弹性波装置，其特征在于，

所述第2电极层由多个金属膜组成，在构成所述第2电极层的多个金属膜中，至少一个金属膜实质上由Cr、Ni、或主要成分为Cr和Ni中至少一种金属的合金组成。

7.根据权利要求1～6任意一项所述的弹性波装置，其特征在于，

所述电介质层是SiO₂层、氮化硅层、或者主要成分为SiO₂或氮化硅的层。

8.根据权利要求1～7任意一项所述的弹性波装置，其特征在于，

所述电介质层的与所述压电体相反侧的表面大致平坦。

9.根据权利要求1～7任意一项所述的弹性波装置，其特征在于，

所述电介质层的与所述压电体相反侧的表面形成为与所述多个电极指的形状相对应的凹凸形状。

10.根据权利要求1～9任意一项所述的弹性波装置，其特征在于，

形成所述电极指的部位的所述电介质层的厚度(h)用弹性波波长(λ)归一化后的波长归一化厚度(h/λ)为0.01以上、0.4以下。

11.根据权利要求1～10任意一项所述的弹性波装置，其特征在于，

所述压电体是LiTaO₃基板或LiNbO₃基板。

12.根据权利要求1～11任意一项所述的弹性波装置，其特征在于，

所述弹性波装置是弹性表面波装置。

13.根据权利要求1～11任意一项所述的弹性波装置，其特征在于，

所述弹性波装置是弹性界面波装置。