[发明专利]有源矩阵基板、显示装置、有源矩阵基板的检查方法和显示装置的检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及具有2层以上的层，在各个层中形成将相互平行地形成于显示区域的多个第1配线和配置于端子配置区域的多个第1端子分别连接的多个第1引出配线的有源矩阵基板、显示装置、有源矩阵基板的检查方法和显示装置的检查方法。

背景技术

近年来，在便携电话、PDA、车载导航系统、个人计算机等各种电子设备中，液晶面板被广泛使用。液晶面板具有较薄、轻型、消耗电力少的优点。作为将驱动器实装于这种液晶面板的方式，已知将驱动器直接实装到隔着液晶材料对置的一对基板中的一方基板(有源矩阵基板)的方式，所谓的COG(Chip On Glass：玻璃上芯片)方式(例如参照日本特开平9-329796号公报、日本特开平8-328033号公报)。通过用该COG方式能实现液晶面板的薄型化、小型化、轻型化、配线间和端子间的高精细化。

另外，近年来，用于便携电话、PDA等小型电子设备的液晶面板逐渐从显示画面的纵横像素数为160×120的QQVGA和176×144的QCIF转变为320×240的QVGA乃至640×480的VGA。随之，构成液晶面板的有源矩阵基板上要形成的配线、端子的数量增加。然而，近年来，有源矩阵基板的尺寸无法为了满足液晶面板的小型化、高精细化的要求而变大。

因此，已知在2层以上的层(多层)中分别形成将形成于显示区域的多个栅极配线和配置于端子配置区域的多个栅极端子分别连接的多个引出配线的有源矩阵基板(例如参照日本特开2004-53702号公报、日本特开2005-91962号公报)。具体地说，将多个引出配线中规定数量的引出配线形成于与形成有栅极配线的层相同的层(第1层)，并且将剩下的引出配线形成于与形成有栅极配线的层不同的层(第2层)。此外，在形成于第1层的引出配线与形成于第2层的引出配线之间隔着绝缘材料。通过使引出配线多层化，能使形成于第1层的引出配线与形成于第2层的引出配线之间的间隔变窄，因此不增大有源矩阵基板尺寸，就能实现液晶面板的小型化、高精细化。

发明内容

发明要解决的问题

在此，在形成于第1层的引出配线和形成于第2层的引出配线之间隔着绝缘材料，因此形成于第1层的引出配线与形成于第2层的引出配线之间难以产生短路(漏电)。然而，在形成于相同的层的相邻的引出配线间，由于有源矩阵基板的制造时等的光刻工序中的灰尘、蚀刻时的膜残留等原因，有可能发生短路。特别是，如上所述，近年来希望液晶面板的小型化、高精细化，配线间的间隔近年来日益变窄，因此形成于相同的层的相邻的引出配线间也容易发生短路。因此，在有源矩阵基板的制造时等的检查工序中，引出配线间的短路的检查变得重要起来。即，在实装工序中，将驱动器实装在发生了配线短路的不良的有源矩阵基板上会造成部件成本、操作成本的损失。

然而，尽管引出配线间的短路的检查变得重要，但还没有确立在具有2层以上的层的有源矩阵基板中，对多个层分别检测形成于相同的层的相邻的引出配线间的短路的办法。具体地说，在具有2层以上的层的现有有源矩阵基板中，对形成于相同的层的相邻的引出配线分别从相同的检查配线输入相同的检查信号，因此能检测引出配线的断线，但是不能检测出形成于相同的层的相邻的引出配线间的短路。

本发明是鉴于上述问题点而完成的，其目的在于提供在引出配线分别形成于多个层的情况下，能以简易的结构可靠地检测形成于相同的层的相邻的引出配线间的短路的有源矩阵基板、显示装置、有源矩阵基板的检查方法和显示装置的检查方法。

用于解决问题的方案