[发明专利]用于缺陷检查的图像数据的处理装置及方法、使用它们的缺陷检查装置及方法、使用它们的板状体的制造方法、以及存储介质

说明书

技术领域

本发明涉及用于检测存在于玻璃板等具有透明性的板状体的缺陷的缺陷检查的图像数据的处理装置及处理方法、分别使用它们的缺陷检查装置及缺陷检查方法、使用它们的板状体的制造方法以及可由计算机读取存储了执行用于缺陷检查的图像数据的处理方法的程序的存储介质。

背景技术

目前，由于玻璃板用于平板显示器、薄膜太阳能电池等电子设备中，因此强烈要求板厚薄、气泡及瑕疵等缺陷极少、或完全不存在的玻璃板。

作为玻璃板中存在的缺陷，可列举在玻璃板的表面形成的瑕疵。例如在浮法工艺中，从熔融炉取出一定厚度的长条的板状体，在驱动辊上输送。此时，由于附着于驱动辊上的异物、驱动辊上的微小的突起等，损伤玻璃板的表面从而产生瑕疵。用于玻璃板的输送的驱动辊设置有多个，因此在玻璃板的表面产生微小瑕疵的机会极多。由于这样的瑕疵具有周期性地产生，因此，以往不限于玻璃板，对于取得长条状的中间形态的产品，提出了各种在其工序内检查中检查具有周期性的缺陷的方法。

在专利文献1中，记载了如下测定方法：为了测定在行进的被检查物上存在的缺陷的周期，将缺陷数据和正常数据二值化，求出缺陷数据间的距离后，对求出的距离分别进行频率计算而计算出距离的周期成分，从该周期成分提取缺陷的基本周期。

在专利文献2中，记载了如下所述的方法：将在拍摄被检查体而获得的图像数据中检测出的缺陷分类为周期性缺陷、非周期性缺陷，并检查周期性缺陷。

专利文献1：日本国特公平7-86474号公报

专利文献2：日本国特开2006-308473号公报

发明内容

但是，在专利文献1中，在计算出缺陷数据间的距离的周期成分时，由于不能区别缺陷数据和噪声数据，因此难以有效计算出周期成分。在缺陷微小的情况下，必须使二值化的阈值降低，因此将噪声数据作为缺陷数据处理的数极大，周期成分的算出精度越发降低。

另一方面，在专利文献2中，将在拍摄被检查体而获得的图像数据中检测出的缺陷分类为周期性缺陷和非周期性缺陷时，使图像数据二值化，将由二值化获得的看作缺陷的部分的面积大小超过规定值的缺陷分类为非周期性缺陷。因此，将面积极小、看作因噪声数据引起的缺陷的部分误认为周期性缺陷而进行识别。

即，在玻璃板产生的由驱动辊等导致的小瑕疵的缺陷较小，因此使图像数据二值化时，为了减少误看作缺陷的部分，即使使阈值降低，也难以与随机产生的噪声数据区别。因此，很难判断驱动辊等导致的小瑕疵的缺陷的周期性。

因此，本发明为了解决上述问题，其目的在于，提供检测在玻璃板等板状体上存在的缺陷时，即使在拍摄的图像中包含噪声成分，也能够检测周期性缺陷的存在的用于缺陷检查的图像数据的处理装置及处理方法、分别使用它们的缺陷检查装置及缺陷检查方法、使用该检查方法或缺陷检查装置的板状体的制造方法、以及可由计算机读取存储了执行用于缺陷检查的图像数据的处理方法的程序的存储介质。

为了达成上述目的，本发明的方式1提供一种处理装置，所述处理装置为用于缺陷检查的图像数据的处理装置，所述缺陷检查是使用在使板状体在规定方向上进行相对移动的同时对该板状体进行拍摄而获得的图像来检查存在于所述板状体的缺陷，其特征在于，具有处理部，所述处理部使用第一信号阈值从所述图像中提取多个缺陷候补，并从提取出的多个缺陷候补中沿所述规定方向即移动方向搜索与所述移动方向正交的宽度方向的位置相同的缺陷候补，求出通过搜索检测出的缺陷候补在所述板状体的移动方向上的位置和与所述检测出的缺陷候补在移动方向上相邻的缺陷候补在移动方向上的位置之间的间隔，反复进行上述处理，由此取得多个间隔，求出该多个间隔的产生频率，在关注间隔的产生频率超过设定的频率阈值时，判断为所述板状体在所述移动方向上具有周期性缺陷，在所述处理部使用的所述频率阈值根据所述关注间隔确定，在两个频率阈值确定为不同的值时，以使用于确定较大的频率阈值的所述关注间隔为比用于确定较小的频率阈值的所述关注间隔小的值的方式设定所述频率阈值。

本发明的方式2在上述方式1的基础上，提供一种处理装置，所述处理部具有表示所述缺陷候补的产生密度和所述第一信号阈值之间的关系的参照表，以使缺陷候补的产生密度达到设定的目标产生密度的方式使用所述参照表设定所述第一信号阈值，所述频率阈值是除了根据所述关注间隔变化之外还根据所述目标产生密度的值变化的值。