[发明专利]过滤方法和使用其的研磨用组合物的纯化方法、以及用于过滤的过滤器的再生方法和过滤器再生装置

说明书

技术领域

本发明涉及各种液体、特别是含有研磨剂等微粒作为分散介质的液体的过滤方法以及过滤中使用的过滤器的再生方法。 

背景技术

在使用研磨剂与研磨垫的抛光操作中，对加工面的表面平滑度以及无缺陷性的要求水平逐年变高。与之相伴，研磨用组合物中所含磨粒的粒径逐渐变得更小。另外，通常磨粒的粒径具有分布，在含有相对于目标粒径极其大的粗大粒子的情况下，由于该粗大粒子是导致刮痕等表面缺陷的原因，因此需要将其除去。

这类分散于液体介质中的粗大粒子，通常通过过滤器除去。为了效率良好地捕捉粗大粒子，期望使用开孔更细的过滤器。但是，过滤器的开孔越小则越容易发生堵塞。若发生堵塞，则粗大粒子的除去效率变差，最终过滤器变得不能使用。因此，期待不易发生堵塞的过滤方法、或在发生堵塞时可以容易地使其恢复的方法。 

基于这样的观点，研究了各种过滤方法。专利文献1中记载了：对过滤流体的过滤器直接施加超声波振动而抑制流体的粘度增加、利用振动而提高了过滤器的效率的过滤器，和在过滤器堵塞时通过对过滤器直接施加振动而使堵塞的流体的粘度降低、利用振动来粉碎从而使背压清洗容易的过滤器。 

专利文献2中记载了下述过滤方法，其特征在于，在液体的过滤方法中，一边连续地或间断地照射超声波一边进行过滤。 

专利文献3记载了下述过滤装置，其是将中空丝膜、无纺织物、连续气泡海绵、纤维、粒状体等滤材盛装于壳体内而成的过滤装置，其中，在壳体的相对的两个端面分别安装超声波振动器，并将该振荡器的安装位置构成在各振动器产生的超声波的相位不重合的位置上。

在上述文献中，虽然记载了以改善过滤性为目的而利用超声波的情况，但没有提供对于除去数10~数100nm的研磨剂用粒子中的粗大粒子(数100~数1000nm)的工序有效的方法。 

现有技术文献 

专利文献 

专利文献1 : 日本特开2004-050137号公报

专利文献2 : 日本特开平08-281020号公报

专利文献3 : 日本特开平07-275615号公报。

发明内容

本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供可满足以下全部的过滤方法或过滤器再生方法：除去堵塞、过滤器的寿命延长、以及过滤器更换间隔的延长。 

解决课题的手段 

本发明所述的过滤方法是使用树脂制介质过滤器过滤液体的方法，其特征在于，包括在过滤时或过滤使用后对前述过滤器照射频率30kHz以上的超声波。 

另外，本发明所述的研磨用组合物的纯化方法的特征在于，包括使用前述过滤方法对研磨用组合物进行过滤。 

另外，本发明所述的介质过滤器的再生方法的特征在于，包括对用于从溶剂中分散有不溶微粒成分的分散液或分散物中除去微粒成分的过滤中使用的、使用后的树脂制介质过滤器照射频率30kHz以上的超声波。 

进一步地，本发明所述的过滤器再生装置的特征在于，具备能够对浸渍于清洗液中的使用后的树脂制介质过滤器照射频率30kHz以上的超声波的超声波发生装置。 

发明效果

根据本发明，通过在过滤时进行超声波的照射，能够防止过滤器堵塞而不损害过滤的操作效率，可以延长过滤器的寿命。另外，通过在过滤结束时照射超声波，可以将杂质从已经引起堵塞的过滤器除去，从而可以使过滤器的过滤能力再生。而且，由于可以在过滤器设置于壳体或滤筒中的状态下进行，因而对工序的操作效率损害也小。另外，通过以其它独立的过滤器再生装置进行过滤器再生，也可以进行过滤器再生而无需使过滤工序为特別的结构。 

附图说明

[图1] 能用于本发明所述的过滤方法中的过滤设备的示意图。

[图2] 本发明所述的过滤器再生装置的侧面示意图。

[图3] 显示本发明所述的过滤器再生装置中过滤器的配置的上面示意图。

具体实施方式

作为过滤对象的液体

本发明所述的过滤方法中，作为进行过滤的对象的液体没有特别限制。即，对应于液体中所含的成分与应从该液体中除去的成分，通过选择后述的过滤器，对于任意的液体均可适用利用本发明的过滤方法。然而，本发明所述的过滤方法，对于从溶剂中分散有不溶微粒成分的分散液或分散物中除去微粒、特别是粗大粒子等尤其有效。即，在分散于液体中的粒子中，为了使具有期望粒径的粒子通过，同时将较期望范围更大的粒子、或其它相对较大的杂质成分除去，而一边防止过滤器的堵塞一边进行过滤时，优选使用本发明的方法。