[发明专利]夹持式喷淋头电极总成

权利要求书

1.喷淋头电极总成，其中所述喷淋头电极构成电容耦合等离子处理室的上电极，其包括：

垫板，所述垫板具有在其上、下表面之间延伸的气体通道；

夹持环，所述夹持环具有法兰和阶梯孔，所述法兰向内延伸，所述阶梯孔配置为容纳紧固件，所述紧固件与所述垫板的所述下表面中的螺纹开口相啮合；

喷淋头电极，所述喷淋头电极包括圆形板，所述板具有位于下表面的等离子体暴露面；位于上表面的安装面；内表面，所述内表面包括在所述板外周的台阶，所述台阶被配置为与所述夹持环的所述向内延伸的法兰配合；所述板包括按图案排列的加工气体出口，所述图案与所述垫板上的所述气体通道相匹配；以及

压缩环，所述压缩环位于所述夹持环法兰和所述喷淋头电极的台阶的相对表面之间；

螺旋顶，所述螺旋顶安装在所述垫板的下表面，可旋转所述螺旋顶使环形法兰在所述螺旋顶上向所述内电极的所述上表面移动，从而在所述内电极的拆卸过程中将所述内电极从所述垫板上分离。

2.如权利要求1所述的喷淋头电极总成，其中所述螺旋顶包括与所述垫板的所述下表面上的螺纹开口相啮合的上螺纹杆，和带有键槽以便与工具相啮合的下杆，所述工具旋转每一个所述螺旋顶；所述电极总成进一步包括上聚合物环和聚合物垫圈，所述上聚合物环带有容纳紧固件的开口和容纳所述上杆的开口，所述紧固件将所述夹持环固定在所述垫板上，所述聚合物环位于每个环形法兰和所述垫板的相对表面之间，所述聚合物垫圈环绕所述下杆并位于每个环法兰和所述喷淋头电极的相对表面之间。

3.如权利要求1所述的喷淋头电极总成，其中所述夹持环包括热膨胀区域，以容纳所述夹持环的热膨胀。

4.如权利要求3所述的喷淋头电极总成，其中所述热膨胀区域包括由所述夹持环的所述外边界向内延伸的槽，以及由所述夹持环的所述内边界向外延伸的槽。

5.如权利要求4所述的喷淋头电极总成，其中所述槽被布置为交替的向内和向外的槽的组，每组槽包括两个由所述夹持环的所述内边界向外延伸的槽，该槽的终点采取圆形端壁；和三个由所述夹持环的所述外边界向内延伸的槽，该槽的终点采取圆形端壁。

6.如权利要求1所述的喷淋头电极总成，进一步包括在所述垫板和所述喷淋头电极之间的热交界环和气体密封件，所述气体密封件位于所述气体通道和所述热交界环的外侧。

7.如权利要求1所述的喷淋头电极总成，进一步包括压缩环，所述压缩环位于所述夹持环的所述法兰和所述喷淋头电极的所述外部台阶之间。

8.喷淋头电极总成的外电极，其中所述外电极环绕内电极，所述喷淋头电极总成构成电容耦合等离子处理室的上电极，其包括：

环形板，所述环形板具有在下表面的等离子体暴露面，和在上表面的安装面，所述上表面包括位于上部内部台阶和上部外部台阶之间的平面环形表面，所述等离子体暴露面包括内、外锥面；

多个周向间隔的销座，所述销座位于所述平面环形表面上，所述销孔被配置为在其中容纳锁销，所述锁销用于将所述外电极夹持在所述喷淋头电极总成的垫板上。

9.如权利要求8所述的外电极，进一步包括在所述上表面上的定位销孔，所述定位销孔配置为对准延伸到所述垫板中的定位销，所述外部上方台阶配置为支撑所述喷淋头电极总成的保护环，由此所述保护环的外表面与所述外电极的所述外表面齐平。

10.如权利要求8所述的外电极，进一步包括在所述下表面的平面环形表面上的气孔，所述气孔适于与压力计单元共同作用测量所述室中的真空压强；在内、外锥面之间延伸的平面环形表面，所述外锥面与所述平面环形表面形成小于30度的夹角，所述内锥面与所述平面环形表面形成大于30度的夹角。