[发明专利]热处理装置

权利要求书

1.一种热处理装置，具备对加热后的被处理物进行冷却的冷却室，其特征是，

在上述冷却室中设有冷却单元，

上述冷却单元分别具备：运送装置，以单列同时运送多个上述被处理物；雾冷却装置，包围上述运送装置的运送路径地配置且供给雾状的冷却液；以及气冷却装置，包围上述运送装置的运送路径地配置且供给冷却气体。

2.如权利要求1所述的热处理装置，其特征是，

上述冷却单元并列地设有多个。

3.如权利要求2所述的热处理装置，其特征是，

上述多个冷却单元配置在同一个冷却室内。

4.如权利要求1至3中任一项所述的热处理装置，其特征是，

上述雾冷却装置从沿着上述运送路径相互分开的位置供给上述冷却液。

5.如权利要求4所述的热处理装置，其特征是，

上述雾冷却装置具有：沿着上述运送路径延伸地设置且上述冷却液供给到其中的管体，以及沿着上述运送路径相互分离地设在上述管体上的喷嘴部。

6.如权利要求5所述的热处理装置，其特征是，

上述管体以上述运送路径为中心在圆周方向上大致等间隔地配置多个。

7.如权利要求1所述的热处理装置，其特征是，

具有：检测装置，检测上述被处理物的温度；以及控制装置，基于上述检测装置的检测结果控制上述冷却液的供给量。

8.如权利要求7所述的热处理装置，其特征是，

上述检测装置检测与设有多个的上述雾冷却装置的每一个相对应的位置上的上述被处理物的温度，

上述控制装置基于上述检测结果相对于上述多个雾冷却装置分别控制上述冷却液的供给量。

9.如权利要求1所述的热处理装置，其特征是，

具有按压装置，从规定的方向按压上述被处理物。

10.如权利要求1所述的热处理装置，其特征是，

上述冷却液是氟系惰性液体。