[发明专利]有源矩阵基板、显示面板、显示装置及有源矩阵基板的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及有源矩阵基板、显示面板、显示装置及有源矩阵基板的制造方法，涉及包含晶体管元件、特别是包含薄膜晶体管(Thin FilmTransistor：TFT)元件的有源矩阵基板、显示面板、显示装置及有源矩阵基板的制造方法。 

背景技术

近年来，由于可实现低消耗电力化、低驱动电压化及省空间化等，液晶显示装置(Liquid Crystal Display：LCD)或有机EL(ElectroLuminescence)显示装置等所代表的平板面板显示(Flat Panel Display：FPD)装置的开发正在盛行。 

在FPD装置中，例如液晶显示装置或有机EL显示装置等的驱动方式，大致区分为静态驱动方式和动态驱动方式，其中，被分类为动态驱动方式的有源矩阵驱动方式，由于可降低像素间的色度亮度干扰(crosstalk)，并进行更清晰的影像再现，而备受瞩目。 

在实现有源矩阵驱动方式时，一般而言，采用按照每个像素具有一个以上的开关元件或电容元件等的被称为阵列基板的电路基板。在本说明书中，将它称为有源矩阵基板。 

在例如液晶显示装置的情况下，在有源矩阵基板与对置基板之间，设置液晶元件。在此，从装置内的光源发出的光，虽然透过有源矩阵基板、液晶元件及对置基板被辨认，但此时通过对液晶元件施加适当电压来控制它的分子排列，而表现作为影像的色调、灰度等。 

此外，在例如有机EL显示装置的情况下，在有源矩阵基板的主面中的一个面侧设置每个像素的有机发光二极管。在此，来自有机发光二极管的光，虽然透过有源矩阵基板(背面发光型/底部发光型)来辨认，或者，不透过有源矩阵基板(上表面发光型/顶部发光型)来辨认，但此时通过 控制有机发光二极管中流动的电流量来表现作为影像的色调、灰度等。 

根据以上的结构，有源矩阵基板是决定液晶显示装置或有机EL显示装置等的FPD中的面板部分厚度的重要因素。因此，该有源矩阵基板中的开关元件，考虑到面板部分的薄型化，通常采用晶体管元件、特别是TFT元件等薄膜元件。 

其中，通过电极材料或半导体材料或绝缘膜材料等的开发，可形成透明的TFT(参照例如以下所示的非专利文献1)。 

非专利文献1：神谷利夫等著“非晶氧化物半导体的设计与高性能挠性薄膜晶体管的室温形成”，第19届尖端技术大奖参赛论文[online]、[2008年4月9日检索]、互联网＜URL：http://www.fbi-award.jp/sentan/jusyou/2005/toko_canon.pdf> 

在此，作为决定液晶显示装置或有机EL显示装置等的性能的一个因素，存在有源矩阵基板的开口率。该开口率是用于实现更高密度化或高对比率及亮度等的重要因素，开口率越大，越能够实现高集成化或高对比率或高亮度等。 

然而，在上述现有的技术中，虽然能够实现有源矩阵基板中的晶体管元件的透明化，但无法实现布线部分的透明化。对布线而言，为了实现液晶显示装置或有机EL显示装置等的消耗电力或驱动电压的减低而要求某种程度的大截面积。因此，布线部分不透明会使现有的有源矩阵基板中的开口率的提高受到限制。 

发明内容

因此，本发明鉴于上述问题，其目的在于，提供能够提高开口率的有源矩阵基板、显示面板、显示装置及有源矩阵基板的制造方法。 

为达到目的，根据本发明， 

[1]一种有源矩阵基板，具有多个晶体管元件，该有源矩阵基板具有： 

基板，其能够透过可见光；布线，其形成在所述基板上，且能够透过可见光；半导体层，其能够透过可见光，且从所述基板的厚度方向看该半导体层与所述布线的至少一部分重叠；和绝缘膜，其覆盖所述布线及半导体层的至少一部分，且能够透过可见光。 

[2]所述[1]所述的有源矩阵基板，其特征在于，所述布线包括主布线；和副布线，其从该主布线分支，且连接该主布线与所述晶体管元件。 

[3]所述[1]或[2]所述的有源矩阵基板，其特征在于，所述布线由无机氧化物导电体材料构成。 

[4]所述[1]至[3]的任一项所述的有源矩阵基板，其特征在于，所述半导体层由无机氧化物半导体材料构成。 

[5]所述[1]至[4]的任一项所述的有源矩阵基板，其特征在于，所述布线由导电体材料构成，所述导电体材料由锌锡氧化物或含铟氧化物构成，所述半导体层由半导体材料构成，所述半导体材料的载体浓度比所述布线低且由锌锡氧化物或含铟氧化物构成。