[发明专利]1，2，3，4-四氯六氟丁烷的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及1，2，3，4-四氯六氟丁烷的制造方法。更详细地说，涉及可用作六氟-1，3-丁二烯的合成原料等的高纯度1，2，3，4-四氯六氟丁烷的高效制造方法，所述六氟-1，3-丁二烯作为半导体用蚀刻气体等备受关注。

背景技术

1，2，3，4-四氯六氟丁烷是作为在半导体用途的微细加工中使用的蚀刻气体备受关注的六氟-1，3-丁二烯的合成原料等，是重要的化合物。

作为该1，2，3，4-四氯六氟丁烷的制造方法，已知有例如使CClX¹X²-CClX³-CClX⁴-CClX⁵X⁶(X¹～X⁶分别独立表示氢原子或氟原子。)所示的化合物在液相中与氟气反应的方法(参照专利文献1)。

专利文献1中记载了作为溶剂使用全氟烷烃类、全氟醚类、全氟聚醚类、氯化烃、和全氟烷基胺类等，并且记载了在使用1，2，3，4-四氯六氟丁烷作为氟化反应的溶剂时，具有不需要分离溶剂和产物的优点，所以特别优选。但由于反应原料被溶剂稀释而在低浓度下进行氟化反应，所以在工业上经济高效地制造高纯度目标物方面存在问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开2006-342059号公报

发明内容

本发明的目的在于提供在工业上经济高效地制造高纯度1，2，3，4-四氯六氟丁烷的方法。

本发明人为了解决上述课题进行了深入研究，结果发现，在没有催化剂的情况下使1，2，3，4-四氯丁烷与氟气反应来制造1，2，3，4-四氯六氟丁烷时，目标物1，2，3，4-四氯六氟丁烷(C₄Cl₄F₆)与作为杂质的含氢化合物、特别是中间体1，2，3，4-四氯四氟丁烷(C₄H₂Cl₄F₄)、1，2，3，4-四氯五氟丁烷(C₄HCl₄F₅)形成假共沸(pseudo azeotropic)混合物，分离纯化非常困难。

如果这样形成假共沸混合物，则例如在以其为原料通过脱氯化反应来制造六氟-1，3-丁二烯时，上述含氢化合物会通过脱氯化反应而产生副产物四氟丁二烯、五氟丁二烯等。这些化合物与六氟-1，3-丁二烯非常难以分离。

于是，本发明人，为了使1，2，3，4-四氯六氟丁二烯中尽量不含有上述含氢化合物，进行了进一步研究，结果发现，通过在特定的条件下蒸馏1，2，3，4-四氯丁烷和氟气的反应产物，可以解决上述课题。

即，本发明涉及例如以下的技术方案[1]～[9]。

[1].一种1，2，3，4-四氯六氟丁烷的制造方法，其特征在于，包括下述工序(1)和工序(2)，

工序(1)：通过使1，2，3，4-四氯丁烷和氟气反应，来得到含有1，2，3，4-四氯六氟丁烷和作为杂质的含氢化合物的反应产物，

工序(2)：通过将上述反应产物导入到单个或多个蒸馏塔中进行蒸馏，来从上述反应产物中分离出上述含氢化合物，从而得到纯化了的1，2，3，4-四氯六氟丁烷，

其中，上述蒸馏塔的至少一个是理论塔板数为15级以上的蒸馏塔。

[2].根据上述[1]所述的1，2，3，4-四氯六氟丁烷的制造方法，其特征在于，上述蒸馏塔的至少一个是理论塔板数为25级以上的蒸馏塔。

[3].根据上述[1]所述的1，2，3，4-四氯六氟丁烷的制造方法，其特征在于，上述蒸馏塔包括理论塔板数为15级以上的第一蒸馏塔和理论塔板数为25级以上的第二蒸馏塔，并且，

上述工序(2)包括下述工序(2a)和工序(2b)，

工序(2a)：通过将上述反应产物导入到上述第一蒸馏塔中进行蒸馏，来从上述反应产物中分离出上述含氢化合物，并从上述第一蒸馏塔的塔顶得到主要含有1，2，3，4-四氯六氟丁烷的馏出成分，

工序(2b)：通过将上述馏出成分导入到上述第二蒸馏塔中进行蒸馏，从而从上述第二蒸馏塔的塔底得到纯化了的1，2，3，4-四氯六氟丁烷。

[4].根据上述[1]所述的1，2，3，4-四氯六氟丁烷的制造方法，其特征在于，上述含氢化合物的至少一种是1，2，3，4-四氯三氟丁烷、1，2，3，4-四氯四氟丁烷或1，2，3，4-四氯五氟丁烷。