[发明专利]镜子和用于获得镜子的方法

权利要求书

1.包含材料的镜子，其包括用多层叠层涂覆的基材，该多层叠层包括至少一个银层和至少一个位于在所述至少一个银层上方的保护层，其中至少一个保护层特征在于它的物理化学特性的至少一种根据离该基材的距离而变化。

2.根据权利要求1的镜子，以使至少一个保护层选自氧化物、氮化物和氮氧化合物。

3.根据前一权利要求的镜子，以使至少一个保护层是选自Si，Al，Zr，Ti，Hf，Bi和Ta的元素的氧化物、氮化物或者氮氧化合物。

4.根据前述权利要求之一的镜子，以使根据厚度而变化的至少一种物理化学特性选自一种或多种以下特性：密度；化学计量学；结晶度；晶相性质；杂质或者掺杂剂的含量。

5.根据前述权利要求之一的镜子，以使至少一个物理化学特性根据厚度连续地变化。

6.根据前述权利要求之一的镜子，以使至少一个保护层通过等离子体增强的化学气相沉积获得。

7.根据前述权利要求之一的镜子，以使至少一个保护层的厚度为50nm至5微米。

8.根据前述权利要求之一的镜子，以使该基材用平面或者弯曲玻璃制成，用金属制成或者用硬塑料制成。

9.根据前述权利要求之一的镜子，以使至少一个银层的厚度为50-200nm，特别地60-120nm。

10.根据前述权利要求之一的镜子，以使至少一个保护层是该叠层的最后层。

11.根据前述权利要求之一的镜子，其是正面镜和/或用于集中太阳能的镜子。

12.制备根据前述权利要求之一的镜子的方法，其中在基材上沉积涂层，该涂层包括至少一个银层和至少一个位于所述至少一个银层上的保护层，其中至少一个保护层的特征在于它的物理化学特性的至少一种根据厚度而变化。

13.根据前一权利要求的方法，以使至少一个保护层使用等离子体增强的化学气相沉积通过在该沉积期间改变沉积室中的压力和/或功率和/或前体的性质进行沉积。

14.根据权利要求12的方法，以使至少一个保护层使用阴离子溅射，尤其磁场增强的阴离子溅射，通过在该沉积期间改变在沉积室中的压力和/或功率大小进行沉积。