[发明专利]太阳能电池单元的制造方法以及太阳能电池单元

权利要求书

1.一种太阳能电池单元的制造方法，其特征在于，包括：

刻划工序，在基板上通过依次层积第一电极层、光电转换层和第二电极层而形成光电转换体之后，形成将光电转换体电分离为多个划分部的槽，

在所述刻划工序中，形成：

第一槽，至少分离所述第一电极层和所述光电转换层；

第二槽，与所述第一槽平行，至少分离所述光电转换层；以及

第三槽，与所述第一槽平行，配置在所述第二槽的与紧邻所述第二槽的所述第一槽相反的一侧，保留所述第一电极层而分离所述光电转换层和所述第二电极层。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池单元的制造方法，其特征在于，所述第一槽分离所述第一电极层、所述光电转换层和所述第二电极层，所述第二槽分离所述第二电极层和所述光电转换层。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的太阳能电池单元的制造方法，其特征在于，在所述刻划工序之后包括：

绝缘层形成工序，在所述第一槽的内部形成绝缘层；以及

配线层形成工序，形成电连接所述多个划分部的配线层，

在所述配线层形成工序中，所述配线层至少形成在所述第二槽的内部和所述绝缘层的表面，且电连接露出于紧邻所述第一槽的所述第二槽的底面的所述第一电极层与作为紧邻所述第一槽的发电有效区域的所述第二电极层。

4.根据权利要求1至权利要求3中的任一项所述的太阳能电池单元的制造方法，其特征在于，在所述刻划工序中，扫描形成所述第一槽的第一激光、形成所述第二槽的第二激光和形成所述第三槽的第三激光以形成各槽。

5.根据权利要求4所述的太阳能电池单元的制造方法，其特征在于，固定所述第一激光、所述第二激光和所述第三激光的相对位置，扫描各激光以形成各槽。

6.根据权利要求4所述的太阳能电池单元的制造方法，其特征在于，同时形成所述第一槽、所述第二槽和所述第三槽。

7.一种太阳能电池单元，其特征在于，包括：

光电转换体，形成在基板上并且依次层积有第一电极层、光电转换层和第二电极层；以及

槽，将所述光电转换体电分离为多个划分部，

所述槽具有：

第一槽，至少分离所述第一电极层和所述光电转换层；

第二槽，与所述第一槽平行，至少分离所述光电转换层，在内部形成有电连接所述多个划分部的配线层；以及

第三槽，与所述第一槽平行，配置在所述第二槽的与紧邻所述第二槽的所述第一槽相反的一侧，保留所述第一电极层而分离所述光电转换层和所述第二电极层，

在所述第一槽的内部形成有至少绝缘所述第一电极层和所述光电转换层间的绝缘层，

所述配线层至少形成在所述第二槽的内部和所述绝缘层的表面，且电连接露出于紧邻所述第一槽的所述第二槽的底面的所述第一电极层与作为紧邻所述第一槽的发电有效区域的所述第二电极层。

8.一种太阳能电池单元的制造方法，其特征在于，包括：

刻划工序，在基板上通过依次层积第一电极层、光电转换层和第二电极层而形成光电转换体后，形成将光电转换体电分离为多个划分部的槽，

在所述刻划工序中，形成：

第一槽，分离所述第一电极层、所述光电转换层和所述第二电极层；

第二槽，与所述第一槽平行，分离所述光电转换层和所述第二电极层；

第三槽，与所述第一槽平行，配置在所述第二槽的与紧邻所述第二槽的所述第一槽相反的一侧，分离所述光电转换层和所述第二电极层；以及

第四槽，与所述第一槽平行，配置在紧邻所述第二槽的所述第一槽的与所述第二槽的相反侧，在所述第一槽与作为发电有效区域的划分部之间至少分离所述光电转换层和所述第二电极层，

在所述刻划工序之后具有：绝缘层形成工序，在所述第一槽和所述第四槽的内部形成绝缘层；以及配线层形成工序，形成电连接所述多个划分部的配线层，

在所述配线层形成工序中，所述配线层从露出于所述第二槽的底面的所述第一电极层，经过所述第二槽的内部和所述绝缘层的表面，到达配置在所述第四槽的与所述第二槽相反的一侧的所述第二电极层的表面，电连接所述多个划分部。