[发明专利]输送装置、位置示教方法以及传感器夹具

说明书

技术领域

本发明涉及通过设于臂的前端的输送部保持被输送物而在预先设定的输送轨迹上进行输送的输送装置、向该输送装置示教输送轨迹上的规定的目标位置的位置示教方法、以及为了得到用于示教的信息的传感器夹具。尤其涉及用于以半导体晶片、液晶面板、有机EL面板、太阳能电池用面板等薄物状物作为被输送物进行输送的输送装置、位置示教方法以及传感器夹具。

背景技术

以往，向半导体晶片、液晶面板、有机EL面板、太阳能电池用面板等薄物状物的输送装置示教输送位置的作业通过作业者将被输送物(输送对象物)或示教用的夹具设置于输送端(输送口)，将输送装置引导至输送位置，而由目视确认示教位置。因此，作业耗费时间，且根据作业者的熟练程度的不同，精度会产生较大差别。另外，作业者通过输送装置进行视觉确认的困难也较多，进而也有进入输送装置的可动范围内的作业，还存在危险的情况。因此，提出了使用各种传感器和示教用的夹具检测输送对象物，然后自动地向输送装置示教输送位置的自动示教的方法。

例如，在专利文献1中公开了如下方法，即，在设有半导体晶片的位置设置示教用夹具，利用设于机械手(输送装置)的手部前端的透射光式传感器检测示教用夹具，从而示教半导体晶片的位置。另外，在专利文献2中公开了如下系统，即，利用安装于输送装置的臂部的光传感器头，以非接触的方式检测设于输送位置的被检测物，根据检测出的被检测物的位置信息获取输送位置的示教信息。

专利文献1：WO2003/022534号公报；

专利文献2：日本专利第3306398号公报。

然而，在以往的方法中，由于利用了以输送装置的臂的伸缩方向(Y方向)及与该伸缩方向大致正交的方向(X方向)为光轴的透射光式传感器，因此进行了与通常的输送动作不同的回避动作以获取示教信息。例如，为了通过各自不同的动作获取X方向及Y方向的位置信息而算出输送位置的示教信息，必须进行向X方向及Y方向直线移动的回避动作。因此，当进行实际的输送动作时，存在必须对由于回避动作的不同而产生的输送装置各轴的窜动(以下称为间隙)进行补正的问题。

另外，虽为自动示教，但并不是所有的动作均自动执行，而需要基于作业者的目视来确认动作可否。

发明内容

本发明是为了解决如上的问题点而作出的，因此，提供一种通过进行通常的输送动作而能够获取输送位置的示教信息的、通过设于臂的前端的输送部保持被输送物而在预先设定的输送轨迹上进行输送的输送装置、位置示教方法以及传感器夹具。

为了解决现有技术的问题点而提供了如下发明。

本发明第一方面的输送装置通过设于臂的前端的输送部保持被输送物而在预先设定的输送轨迹上进行输送，且能够在铅垂方向上上下移动，并且能够在相对于铅垂方向成直角的平面上进行直线移动及回旋移动，所述输送装置的特征在于，以铅垂方向为Z方向，以位于所述平面上的设计上的直线移动方向为Y方向，以相对于Y方向及Z方向成直角的方向为X方向，且具备：透射光式传感器，其至少具有一个从投光部向受光部的光轴，在具有多个所述光轴的情况下，以使所述光轴在X方向、Y方向及Z方向这三个方向中所需的两个方向构成的投影面上彼此不平行、且多个所述光轴中的至少一个所述光轴也不与所述所需的两个方向平行的方式配置所述投光部和所述受光部；一个以上的目标部件，其能够对所述光轴进行遮光；示教信息算出机构，其从所述透射光式传感器获取所述目标部件使所述光轴从投光状态遮光时、或从遮光状态投光时的位置信息，根据所述位置信息算出针对所述输送轨迹上的规定的目标位置的示教信息；控制机构，其根据利用所述示教信息算出机构算出的针对所述目标位置的所述示教信息，控制所述被输送物的输送位置，所述透射光式传感器设于所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部的任一方，在没有设置所述透射光式传感器的所述输送部的前端部或所述目标位置的附近部设置所述目标部件。

由此，能够通过输送装置的通常的输送动作，即，不进行用于示教作业的回避动作的情况下，获取输送位置的示教信息。例如，能够通过臂的伸缩获取X方向及Y方向的位置信息，算出输送位置的示教信息。从而，能够在不考虑输送装置的各轴间隙的情况下算出示教信息。即，能够以容易的方法算出示教信息，并且，能够缩短算出时间。

在此，臂是指将多个部件中其前端部分和基端部分加以连结而长条状一体化，并能够在驱动源的作用下伸缩运动的部件。臂的前端部为输送物输送部，具备将输送物定位在臂的前端部上的一定位置的公知的夹紧机构。