[发明专利]图案形成方法无效

专利信息
申请号: 200980117003.0 申请日: 2009-05-14
公开(公告)号: CN102027415A 公开(公告)日: 2011-04-20
发明(设计)人: 内田博;福島正人;坂田優子 申请(专利权)人: 昭和电工株式会社
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;B29C59/02;G11B5/84;H01L21/027;B29L11/00
代理公司: 北京市中咨律师事务所 11247 代理人: 段承恩;田欣
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 图案 形成 方法
【权利要求书】:

1.一种图案形成方法,具有以下第1~第3工序,

第1工序:在基材上形成第一紫外线固化性树脂层;

第2工序:使第一模具的形成有规定图案的图案形成面面向所述第一紫外线固化性树脂层,将所述基材与第一模具压接;

第3工序:将使紫外光扩散的部件介于所述紫外线固化性树脂层与紫外光源之间,对通过所述压接而被转印了所述第一模具的图案的第一紫外线固化性树脂层照射被扩散了的紫外光。

2.根据权利要求1所述的图案形成方法,其特征在于,所述第3工序与所述第2工序同时进行。

3.根据权利要求1所述的图案形成方法,其特征在于,所述第3工序在所述第2工序之后进行。

4.根据权利要求1所述的图案形成方法,其特征在于,包括以下工序:

在厚度为10μm以上1mm以下的树脂制片上形成第二紫外线固化性树脂层,

将具有与第一模具的规定图案凹凸相反的图案的第二模具压接在所述第二紫外线固化性树脂层的表面上,并使所述凹凸相反的图案与所述第二紫外线固化性树脂层的表面接触,从而使所述凹凸相反的图案转印至第二紫外线固化性树脂层上,

从而制造了形成有所述规定图案的所述第一模具。

5.根据权利要求1所述的图案形成方法,其特征在于,所述第一模具的紫外光的透射率为20%以上。

6.根据权利要求1所述的图案形成方法,其特征在于,通过在所述基材上涂布液状紫外线固化性树脂来形成所述第一紫外线固化性树脂层。

7.根据权利要求4所述的图案形成方法,其特征在于,通过在所述树脂制片的表面上涂布液状紫外线固化性树脂来形成所述第二紫外线固化性树脂层。

8.根据权利要求1所述的图案形成方法,其特征在于,作为所述使紫外光扩散的部件,使用扩散板或复眼透镜。

9.根据权利要求1所述的图案形成方法,其特征在于,所述基材是磁记录介质。

10.一种离散磁道式磁记录介质的制造方法,采用了权利要求1所述的图案形成方法。

11.一种磁记录再生装置,装载了通过权利要求10所述的制造方法制造的离散磁道式磁记录介质。

12.根据权利要求1所述的图案形成方法,其特征在于,所述基材是在非磁性基板的至少一面上依次形成了磁性层和保护层的基材。

13.根据权利要求1所述的图案形成方法,其特征在于,所述将紫外光扩散的部件是选自石英、玻璃和树脂中的板或片,并且是选自以下类型的部件:(i)表面形成有微细凹凸,(ii)在基质中分散有折射率与基质不同的微粒,和(iii)表面形成有能够使光散射的涂膜。

14.根据权利要求1所述的图案形成方法,其特征在于,所述使紫外光扩散的部件是形成了微细凹凸或形成了使光散射的涂膜的第一模具7。

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