[发明专利]用于借助于放热纳米膜生成密封的电馈通部的方法有效

专利信息
申请号: 200980115169.9 申请日: 2009-04-28
公开(公告)号: CN102017110A 公开(公告)日: 2011-04-13
发明(设计)人: J·瑙恩多夫;H·武尔克施 申请(专利权)人: 西门子公司
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 张涛;李家麟
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: 用于 借助于 放热 纳米 生成 密封 电馈通部 方法
【权利要求书】:

1.一种用于生成至少一个被定位在衬底(3)上以及封装(5)内的电子器件(7)通向封装(5)外部的至少一个电连接(1)的方法,其特征在于下列步骤:

将至少一个结构化的在两侧分别涂覆有焊剂层的反应式纳米膜(2)固定在衬底(3)上,所述焊剂层形成电连接(1);

使电子器件(7)在纳米膜(2)的背向衬底(3)那侧接触纳米膜(2);

在衬底(3)和/或纳米膜(2)上生成围绕电子器件(7)的封装(5);

在封装(5)外部、在电连接(1)离开封装(5)的输出端处激活纳米膜(2)的放热反应,以封闭输出端。

2.根据权利要求1所述的方法,

其特征在于,

在封装(5)外部激活纳米膜(2)的放热反应,以使电连接(1)接触至少一个电接触部。

3.根据权利要求1所述的方法,

其特征在于,

激活纳米膜(2)的单次放热反应,以同时封闭所述输出端以及使电连接(1)接触至少一个电接触部。

4.根据权利要求1、2或3所述的方法,

其特征在于,

借助于激光束激活纳米膜(2)的放热反应。

5.根据权利要求4所述的方法,

其特征在于

二氧化碳激光器和/或二极管激光器的激光束。

6.根据权利要求1至5之一所述的方法,

其特征在于,

借助于粘合剂将纳米膜(2)固定在衬底(3)上。

7.根据权利要求1至6之一所述的方法,

其特征在于,

借助于导电粘合剂使电子器件(7)接触纳米膜(2)。

8.根据权利要求1至7之一所述的方法,

其特征在于,

借助于玻璃和/或陶瓷生成封装(5)。

9.根据权利要求1至8之一所述的方法,

其特征在于,

生成至少一个电通孔接触部(13),所述电通孔接触部(13)从纳米膜(2)穿过衬底(3)到达衬底(3)的背向纳米膜(2)那侧上的至少一个金属化部(15)。

10.根据权利要求9所述的方法,

其特征在于,

借助于多层高温共烧陶瓷(HTCC;高温多层陶瓷)生成所述通孔接触部。

11.一种装置,具有至少一个被固定在衬底(3)上以及封装(5)内的电子器件(7)通向封装(5)外部的至少一个电连接(1),其特征在于,所述装置根据前述权利要求之一生成。

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