[发明专利]带电极的玻璃基材

权利要求书

1.用于电子器件的带有至少一个薄层形式的电极的玻璃基材，其特征在于，在该基材和该电极之间布置阻挡覆层，所述阻挡覆层包括至少一个基于包含至少10％锌的锌与至少一种其它元素的混合氧化物的层。

2.权利要求1的玻璃基材，其特征在于，该电极基于钼。

3.权利要求1或2的玻璃基材，其特征在于，构成电极的薄层具有小于1000nm，优选小于800nm，有利地小于600nm的总厚度。

4.上述权利要求之一的玻璃基材，其特征在于，构成电极的薄层再分为至少两个层，优选至少三个层，其通过在不同沉积条件下的阴极溅射而获得。

5.上述权利要求之一的玻璃基材，其特征在于，在受到保护以防氧化在500℃下热处理30分钟之后，该电极的电阻小于2Ω/□，优选小于0.8Ω/□，有利地等于或小于0.6Ω/□。

6.上述权利要求之一的玻璃基材，其特征在于，所述其它元素选自下列元素：Sn、Ti、Ta、Zr、Nb、Ga、Bi、Al及其混合物，优选Sn、Ti和/或Al。

7.上述权利要求之一的玻璃基材，其特征在于，该阻挡覆层包括至少两个具有不同组成的层的叠层。

8.上述权利要求之一的玻璃基材，其特征在于，所述其它元素以至少4％重量的比率存在。

9.上述权利要求之一的玻璃基材，其特征在于，所述其它元素是锡，并且锌-锡混合氧化物包含至少20％的锡。

10.权利要求9的玻璃基材，其特征在于，阻挡覆层包括至少两个基于不同组成的锌-锡混合氧化物的层的叠层。

11.权利要求9或10的玻璃基材，其特征在于，至少一个锌-锡混合氧化物的层包含至少40％的锡和至少40％的锌。

12.上述权利要求之一的玻璃基材，其特征在于，该阻挡覆层具有80-500nm，优选80-200nm，有利地100-150nm的总厚度。

13.上述权利要求之一的玻璃基材，其特征在于，在500℃下经受30分钟热处理之后，电极在经受在说明书中描述的粘附测试时不与基材脱离。

14.包括上述权利要求之一的玻璃基材的电子器件。

15.权利要求14的电子器件，其特征在于，它构成光伏太阳能电池。

16.权利要求14或15的电子器件，其特征在于，在该电极上沉积基于铜和铟或者铜、锌和锡的硒化物和/或硫化物的层。