[发明专利]薄膜太阳能电池制造装置

权利要求书

1.一种薄膜太阳能电池制造装置，其特征在于，包括：

成膜室，在基板的成膜面上通过CVD法形成膜；

电极单元，具有：施加有电压的阴极被配置在两侧的阴极单元、以及与所述各阴极分别对置且隔开间隔距离配置的一对阳极；

掩膜，覆盖所述基板的周缘部；以及

排气管道，设置在所述阴极单元的周围，

在所述阴极单元与设置在所述阳极侧的所述基板之间形成成膜空间，

在所述掩膜与所述阴极单元之间形成排气通道，

所述排气管道与所述成膜空间经由所述排气通道连接，

导入所述成膜空间的成膜气体通过所述排气通道从所述排气管道排出。

2.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池制造装置，其特征在于，所述阴极是对所述基板的所述成膜面供给所述成膜气体的簇射极板。

3.根据权利要求1或2所述的薄膜太阳能电池制造装置，其特征在于，所述电极单元进一步具有使所述阳极相对于所述阴极接近、远离的驱动部，

通过利用所述驱动部使保持所述基板的所述阳极向着所述阴极移动，所述掩膜部覆盖所述基板的所述周缘部。

4.根据权利要求3所述的薄膜太阳能电池制造装置，其特征在于，进一步包括搬送部，将所述基板搬送到所述阳极与所述阴极单元之间，

所述搬送部具有与所述基板的所述成膜面抵接的第一夹持片、以及与所述基板的背面抵接的第二夹持片，

由该第一夹持片与第二夹持片夹持所述基板，

所述阳极相对于所述阴极单元接近时，所述第一夹持片远离所述第二夹持片，

所述阳极相对于所述阴极单元远离时，所述第一夹持片接近所述第二夹持片，

在所述基板的所述成膜面上形成所述膜时，在比所述搬送部的所述第一夹持片的更靠近内周侧的位置上，所述基板的周缘部被所述掩膜覆盖。

5.根据权利要求3或4所述的薄膜太阳能电池制造装置，其特征在于，通过所述掩膜部覆盖所述基板的所述周缘部，所述成膜空间所在的空间与所述搬送部所在的空间被分离。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的薄膜太阳能电池制造装置，其特征在于，在所述阳极中内置有用于调整所述基板的温度的温度控制部。