[发明专利]于激光操作中用于沟渠深度与宽度的实时控制点尺寸与切割速度的实时操纵

权利要求书

1.一种使用单遍的激光束以于一材料上切割多个宽度的沟渠的方法，该种方法包含：

于关于该材料的一工作表面之该激光束的第一切割速度上，使用第一系列的激光脉冲以切割该工作表面，于第一系列的各个激光脉冲具有于该工作表面的第一点尺寸；

于一转变区域：

自该转变区域的一开端的第一切割速度至该转变区域的一末端的第二切割速度的逐渐改变；及

随着该切割速度逐渐改变，使用第二系列的激光脉冲以切割该工作表面，其中，第二系列的激光脉冲自该转变区域的开端的第一点尺寸至该转变区域的末端的第二点尺寸依序改变点尺寸；且

于该激光束的第二切割速度，使用第三系列的激光脉冲以继续切割该工作表面，于第三系列的各个激光脉冲具有第二点尺寸。

2.如权利要求1的方法，更包含依序改变对应于第二系列的激光脉冲的连续脉冲间的空间距离的一口尺寸，该口尺寸自该转变区域的开端的第一口尺寸至该转变区域的末端的第二口尺寸。

3.如权利要求1的方法，其中，自该转变区域的开端的第一点尺寸至该转变区域的末端的第二点尺寸依序改变点尺寸包含移动关于第二透镜的第一透镜以依序改变关于该工作表面的该激光束的一聚焦平面。

4.如权利要求1的方法，其中，自该转变区域的开端的第一点尺寸至该转变区域的末端的第二点尺寸依序改变点尺寸包含改变一适应透镜的一表面曲度以依序改变关于该工作表面的该激光束的一聚焦平面。

5.如权利要求1的方法，其中，自该转变区域的开端的第一点尺寸至该转变区域的末端的第二点尺寸依序改变点尺寸包含改变一适应镜的一表面曲度以依序改变关于该工作表面的该激光束的一聚焦平面。

6.如权利要求1的方法，其中，于第一系列、第二系列与第三系列的激光脉冲产生高斯点。

7.如权利要求6的方法，其中于该转变区域的一脉冲重复频率(Pulse Repetition Frequency，PRF)具有一时间轮廓PRF(t)，其中该第一点尺寸标示为SS1，其中于该第二系列的激光脉冲的点尺寸具有一时间轮廓SS(t)，其中于该转变区域的开端的一口尺寸标示为delta1，且其中于该转变区域的切割速度的一时间轮廓是Vc(t)＝PRF(t)*SS1*delta1/SS(t)。

8.如权利要求6的方法，其中一脉冲重复频率实质固定于第一系列、第二系列与第三系列之中，其中该第一点尺寸标示为SS1，其中于该第二系列的激光脉冲的点尺寸具有一时间轮廓SS(t)，其中该第一切割速度标示为Vc1，且其中于该转变区域的切割速度的一时间轮廓是Vc(t)＝Vc1*SS1/SS(t)。

9.如权利要求6的方法，其中该第一点尺寸标示为SS1，其中于该转变区域的开端的一口尺寸标示为delta1，其中于该转变区域的口尺寸的一时间轮廓标示为delta1(t)，且其中于该转变区域的点尺寸的一时间轮廓是SS(t)＝SS1*delta1/delta(t)。

10.一种使用单遍的激光束以于一材料上切割多个宽度的沟渠的系统，该种系统包含：

一激光源以产生该激光束；

第一光学构件以接收该激光束，其中该第一光学构件可选择性调整以改变关于该材料的一工作表面的一聚焦平面的一位置；及

第二光学构件以指引该激光束至该材料工作表面；

其中于该激光束所切割至该工作表面的第一沟渠宽度与第二沟渠宽度之间的一转变期间，逐渐改变于该激光束与该工作表面之间的一切割速度且该第一光学构件遭受一系列的变化以依序改变于该工作表面的点尺寸。

11.如权利要求10的系统，更包含一夹头以于该激光束的处理期间支持该材料，其中于该夹头与入射于该工作表面的激光束之间的相对移动决定该切割速度。

12.如权利要求10的系统，更包含束转向光学器件以接收自第一光学构件的该激光束且选择性重新指引该激光束至第二光学构件。

13.如权利要求10的系统，其中该第一光学构件包含一弱透镜，构成该弱透镜以于该激光源与第二光学构件之间移动，且其中该系列的变化包含该弱透镜的一系列的位置移动。