[发明专利]厚度不均树脂片的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种厚度不均树脂片的制造方法。

背景技术

目前，通常公知的是对于掩模膜进行层叠的方法。在专利文献1中记载了，为了防止褶皱的产生，按照在对轧辊(夹压辊)的径进行加热时而形成一定的方式，预先使中央部变窄的方法。另外，专利文献2记载有使用带进行层叠的方法。专利文献3记载有调整夹压的方法。

专利文献1：日本特开2006-159723号公报

专利文献2：日本特开2001-129919号公报

专利文献3：日本特开平7-228060号公报

但是，现有的层叠方法为以平坦的形状，即在宽度方向上厚度大致一定的被层叠物为对象的方法。因此，在被层叠物沿宽度方向存在厚度分布的厚度不均形状的情况下，在这些方法中可能存在，在厚度较薄的部分，层叠膜的粘接力不足的情况，难以将掩模膜均匀地层叠。

发明内容

本发明鉴于这样的情况研制而成，其目的在于，能够使掩模膜在全部宽度上均匀地密接的厚度不均树脂片的制造方法。

为了实现所述目的，本发明的第一方式的厚度不均树脂片的制造方法，其具备：将熔融的树脂从模具压出为片状的工序；将压出的树脂片由模辊和轧辊夹持，并将该树脂片成形为在宽度方向上具有厚度分布的厚度不均形状的工序；将所述树脂片从所述模辊剥离的工序；通过将所述树脂片由驱动辊和与树脂片的形状相吻合形状的弹性轧辊夹压，从而将掩模膜层叠于所述树脂片的工序。

根据所述厚度不均树脂片的制造方法，通过由驱动辊和具有与树脂片的形状相吻合形状的弹性轧辊进行夹压，可以将掩模膜在整体宽度上均匀地层叠于具有厚度不均形状的树脂片。

在所述厚度不均树脂片的制造方法中，优选所述弹性轧辊相对于具有所述厚度不均形状的树脂片，以其曲率之差为0～20％的范围内的方式与该树脂片的形状相吻合。

通过使弹性轧辊的形状和具有厚度不均形状的树脂片的形状满足上述的关系，能够将掩模膜更均匀地层叠于树脂片。

在所述厚度不均树脂片的制造方法中，优选所述弹性轧辊和所述驱动辊产生的夹压在线压10kgf/cm～100kgf/cm的范围内。

这是由于，在线压比10kgf/cm小时，会引起掩模膜在整体宽度上密接不良。在线压比100kgf/cm大时，宽度方向的夹压与中央相比，两端更大，在中央上容易产生褶皱。

在所述厚度不均树脂片的制造方法中，优选由所述弹性轧辊和所述驱动辊产生的对所述树脂片的夹压的分布在0～200％的范围内。这是因为，在夹压分布比200％大时，可能会在掩模膜上产生褶皱。

在所述厚度不均树脂片的制造方法中，优选通过分别对向被连接到所述弹性轧辊的两端轴承的气压缸(日文：空压シリンダ)的供给压力进行调整，可以调整由所述弹性轧辊和所述驱动辊产生的夹压。

通过该构成，可以任意调整弹性轧辊的两端的夹压平衡。

在所述厚度不均树脂片的制造方法中，优选通过使被安装于夹压时的该弹性轧辊的行进方向的干涉物与所述弹性轧辊的轴承相接触，从而抑制夹压时产生的该弹性轧辊的弯曲。

由此，可以抑制夹压时的弹性轧辊的弯曲，可以缓和对树脂片的宽度方向的夹压分布的影响。

在所述厚度不均树脂片的制造方法中，优选所述弹性轧辊的表面由在JIS K6253中规定的橡胶硬度计为50°～90°的材料形成。这是由于，通过将橡胶硬度的范围限制于50°～90°，可以维持弹性轧辊的形状等的多种精度。

根据本发明的方式的厚度不均树脂片的制造方法，通过由驱动辊和具有与树脂片的形状相吻合形状的弹性轧辊进行夹压，能够使掩模膜在整体宽度上均匀地层叠为具有厚度不均形状的树脂片。

附图说明

图1是对厚度不均树脂片的一例进行说明的说明图；

图2是对使用本发明的厚度不均树脂片的制造方法的流程进行说明的工序图；

图3是使用本发明的厚度不均树脂片的制造装置的概念图；

图4是对成形冷却辊的构成进行说明的说明图；

图5A是层叠装置的侧面图；

图5B是层叠装置的正面图；

图6是表示夹压分布的图；

图7A是在树脂片的曲率和弹性轧辊的曲率大致一致的情况下，表示弹性轧辊和树脂片的形状的关系的说明图；

图7B是在弹性轧辊的曲率比树脂片的曲率大的情况下，表示弹性轧辊和树脂片的形状的关系的说明图。

符号说明