[发明专利]光电射线检测器和用于制造多个检测器元件的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种光电射线检测器以及用于制造多个检测器元件的方法。

背景技术

例如公开文献WO2005/096394A1公开了一种具有按照人眼的光谱灵敏度分布的光谱灵敏度分布的光电射线检测器。

发明内容

本发明的任务是提供一种可简单制造的射线检测器，尤其是可简单制造以及同时可多方面采用的射线检测器。

该任务通过具有独立权利要求的主题解决。优选的实施方式和扩展是从属权利要求的主题。

根据至少一个实施方式，光电射线检测器具有多个用于产生信号的检测器元件。在不同的检测器元件中产生的信号优选可相互分离地提取出。这些检测器元件可以被构造为具有不同的光谱灵敏度分布。检测器元件的光谱灵敏度分布可以通过在该检测器元件中产生的信号-例如光电流或从该光电流导出的参数-对落在该检测器元件上的射线的波长的依赖性来确定。

合适的是，这些检测器元件分别具有光谱灵敏度分布。优选地，不同的检测器元件具有不同的光谱灵敏度分布。两个检测器元件尤其可以构成为检测各不相同的波长范围中的射线。

优选的，各检测器元件的光谱灵敏度分布具有上极限波长和/或下极限波长。

上(下)极限波长在此是这样一种波长，从该波长开始各检测器元件对更大(更小)的波长不再提供明显的信号，例如不能再与背景噪声区分开的信号。各检测器元件的灵敏度范围优选通过下极限波长和上极限波长之间的间隔来确定。因此，这些检测器元件可以具有不同的灵敏度范围。

根据至少一个其它实施方式，检测器元件具有基本检测器元件。该基本检测器元件的光谱灵敏度分布可以具有上极限波长和/或下极限波长。基本检测器元件优选具有以下灵敏度范围，其大于射线检测器的至少一个检测器元件或多个检测器元件的灵敏度范围。

根据至少一个其它实施方式，检测器元件具有包含至少一个滤波层的滤波层结构。借助该滤波层结构可以确定该检测器元件的灵敏度分布的下极限波长。该下极限波长在此可以对应于滤波层的带隙(Bandlücke)。滤波层结构可以包含半导体材料。

优选的，其它检测器元件-也就是除了具有基本检测器元件的检测器元件之外的附加检测器元件-具有滤波层结构。

根据至少一个其它实施方式，检测器元件的光谱灵敏度分布、尤其是所述其它检测器元件和/或所述基本检测器元件的灵敏度分布在最大波长时具有最大值，例如全局最大值。尤其是，射线检测器的各检测器元件的灵敏度分布可以在相应最大波长时具有最大值。不同的检测器元件在各自不同的最大波长时具有相应的最大值。

根据至少一个其它实施方式，所述其它检测器元件的灵敏度分布的上极限波长等于基本检测器元件的光谱灵敏度分布的上极限波长。

根据至少一个其它实施方式，所述其它检测器元件的滤波层结构被构成为，使得该滤波层结构吸收波长小于基本检测器元件的光谱灵敏度分布的上极限波长的射线和/或波长大于基本检测器元件的光谱灵敏度分布的下极限波长的射线。借助该滤波层结构，可以在基本检测器元件的灵敏度范围内构成其它检测器元件的灵敏通道。尤其是，可以借助该滤波层结构从基本检测器元件的相对更宽带的灵敏度范围中构成其它检测器元件的灵敏度范围。

根据至少一个其它实施方式，所述其它检测器元件的光谱灵敏度分布形成基本检测器元件的灵敏度分布内的灵敏度通道。

根据至少一个其它实施方式，基本检测器元件的光谱灵敏度分布完全覆盖其它检测器元件的光谱灵敏度分布。

根据至少一个其它实施方式，基本检测器元件的灵敏度分布的最大波长小于其它检测器元件的光谱灵敏度分布的最大波长。

根据至少一个其它实施方式，所述滤波层结构被构成为，使得该滤波层结构吸收波长小于其它检测器元件的灵敏度分布的最大波长的射线以及波长优选大于基本检测器元件的灵敏度分布的下极限波长的射线。其它检测器元件的灵敏度范围-即灵敏度分布的上极限波长和下极限波长之间的间隔-因此可以相对于基本检测器元件的灵敏度范围实施得更窄。尤其是，其它检测器元件的灵敏度范围可以位于基本检测器元件的灵敏度范围内。

根据至少一个其它实施方式，检测器元件的灵敏度分布的最大波长，尤其是其它检测器元件的灵敏度分布的最大波长小于基本检测器元件的灵敏度分布的上极限波长。

根据至少一个其它实施方式，检测器元件的灵敏度分布的最大波长，尤其是其它检测器元件的灵敏度分布的最大波长大于基本检测器元件的光谱灵敏度分布的下极限波长。