[发明专利]压电多层部件

权利要求书

1.一种作为中间产品的压电多层部件，具有

-上下相叠布置的未烧结的压电陶瓷层(2)的叠层(1)，其中，

-第一电极层(3a)施加在压电陶瓷层(2)上并且包含第一金属，其中，

-第二电极层(3b)施加在另一压电陶瓷层上并且在叠层方向上与所述第一电极层相邻，其中，

-所述第二电极层(3b)与所述第一电极层相比包含更高浓度的第一金属。

2.根据权利要求1所述的压电多层部件，

其中所述第一电极层(3)中的第一金属的浓度最多为80％。

3.根据以上权利要求中任一项所述的压电多层部件，

其中所述第一金属包括铜。

4.根据权利要求1或2所述的压电多层部件，

其中所述第一金属包括银。

5.根据权利要求3所述的压电多层部件，

其中所述第一金属的颗粒直径在0.1和10μm之间。

6.根据以上权利要求中任一项所述的压电多层部件，

其中所述第一电极层(3a)包含额外的第二金属，所述第二金属不同于所述第一金属。

7.根据权利要求6所述的压电多层部件，

其中与所述第一金属相比，所述第二金属能较差地扩散通过与所述第一电极层(3a)相邻的压电陶瓷层(2)。

8.根据权利要求6或者7所述的压电多层部件，

其中所述第二金属选自：钯、铍、铝、锰、锌、锡、铋、镍、钴、铬、钼、铌、铷。

9.根据权利要求6至8中任一项所述的压电多层部件，

其中与所述第二金属相比，在所述第一电极层(3)中存在更高浓度的第一金属。

10.根据以上权利要求中任一项所述的压电多层部件，

其中所述第二电极层(3b)作为金属仅仅包含所述第一金属。

11.根据以上权利要求中任一项所述的压电多层部件，

其中将所述第一电极层(3a)与所述第二电极层(3b)之间的所述第一金属的浓度差调整为使得在加热所述多层部件时所述第二电极层(3b)中的第一金属的扩散导致所述第二电极层(3b)的材料损失，其中所述第二电极层(3b)在结构上保持完好，以便在所述多层部件运行时能充当电极层。

12.根据以上权利要求中任一项所述的压电多层部件，

其中所述压电陶瓷层(2)包含PZT陶瓷。

13.一种用于制造压电多层部件的方法，其中烧结根据以上权利要求中任一项所述的作为中间产品制造的压电多层部件，其中所述第一金属部分地从所述第二电极层(3b)扩散到所述第一电极层(3a)中并且与此同时在所述第二电极层(3b)中留下空腔(7)，由此在机械上削弱所述第二电极层(3b)。

14.根据权利要求13所述的方法，

其中相邻的压电陶瓷层(2)在烧结时在所述空腔(7)之间连接。

15.一种压电多层部件，其能直接根据以上权利要求所述的方法生产。