[发明专利]多自由度传动装置以及载物台装置

权利要求书

1.一种多自由度传动装置，其特征在于，构成为，由具有多个永久磁铁的可动元件、具有定子芯与多个线圈的定子构成，将所述永久磁铁在X方向上并列配置，使极数P由2以上的偶数组成，所述线圈由X方向驱动用线圈与Z方向驱动用线圈的2种构成，将P个所述Z方向驱动用线圈配置在与所述永久磁铁的磁极相对的位置，同时将P/2个所述X方向驱动用线圈配置在与所述永久磁铁磁极间的中心相对的位置。

2.根据权利要求1所述的多自由度传动装置，其特征为，将所述X方向驱动用线圈的线圈边配置于所述Z方向驱动用线圈的空心部。

3.根据权利要求1所述的多自由度传动装置，其特征为，在所述定子芯上整体形成P个齿，同时将所述Z方向驱动用线圈插入于所述齿，将所述X方向驱动用线圈配置在所述齿的顶端。

4.根据权利要求1所述的多自由度传动装置，其特征为，使用1台放大器对所述X方向驱动用线圈进行X方向驱动控制，使用1台放大器对所述Z方向驱动用线圈进行Z方向驱动控制。

5.根据权利要求1所述的多自由度传动装置，其特征为，使用1台放大器对所述X方向驱动用线圈进行X方向驱动控制，在分成2组的所述Z方向驱动用线圈中，在使用1台放大器对一个所述Z方向驱动用线圈进行Z方向驱动控制的基础上，使用另1台放大器对另一个所述Z方向驱动用线圈进行θ_Y方向驱动控制。

6.一种载物台装置，其特征为，至少使用3台多自由度传动装置使悬浮体多自由度地移动，多自由度传动装置由具有多个永久磁铁的可动元件、具有定子芯与多个线圈的定子构成。

7.根据权利要求6所述的载物台装置，其特征为，使3台所述多自由度传动装置在水平XY面上分别旋转120度而配置。

8.根据权利要求6所述的载物台装置，其特征为，沿着水平X方向配置4台所述多自由度传动装置中的2台，沿着水平Y方向配置另外2台。

9.根据权利要求6所述的载物台装置，其特征为，附加可在一个方向上较大地进行移动的直线电动机。