[发明专利]表面处理装置

权利要求书

1.一种表面处理装置，具备：供给稀释气体的稀释气体供给装置，供给氟气的氟气供给装置，混合上述稀释气体与上述氟气而生成混合气体的混合器，以及使被处理物与上述混合气体相接触的反应器，其特征是，

还具备对上述稀释气体进行加热的加热机构。

2.如权利要求1所述的表面处理装置，其特征是，在混合上述稀释气体与上述氟气之前，上述加热机构对上述稀释气体进行加热。

3.如权利要求1或2所述的表面处理装置，其特征是，还具备喷射器，以上述稀释气体作为驱动源吸入上述氟气。

4.如权利要求1～3中任一项所述的表面处理装置，其特征是，还具备：与上述稀释气体供给装置与上述混合器相连的第1流量调整机构，设在上述第1流量调整机构的上游一侧以及下游一侧的压力计，以及经由配管与设在上述稀释气体供给装置和上述第1流量调整机构的上游一侧的压力计相连的压力调节阀。

5.如权利要求1～4中任一项所述的表面处理装置，其特征是，还具备设在上述压力调节阀和上述第1流量控制机构的上游一侧所设置的上述压力计之间的压力缓冲箱。

6.如权利要求1～5中任一项所述的表面处理装置，其特征是，还具备与上述氟气供给装置与上述混合器相连的第2流量调整机构。

7.如权利要求1～6中任一项所述的表面处理装置，其特征是，还具备：与上述混合器连通的第1连通管，设在上述第1连通管的中途的背压阀，设在上述第1连通管的中途且上述背压阀的下游一侧的气体放出阀，连结上述混合器与上述反应器之间的第2连通管，以及设在上述第2连通管的中途的气体导入阀。

8.一种表面处理装置，具备：供给稀释气体的稀释气体供给装置，供给氟气的氟气供给装置，混合上述稀释气体与上述氟气而生成混合气体的混合器，以及使被处理物与上述混合气体相接触的反应器，其特征是，

还具备：将废气从上述反应器内排出的排气装置，设在上述反应器与上述排气装置之间并使上述废气流通的多个流路，以及设在上述多个流路的每一个上的多个阀。

9.如权利要求8所述的表面处理装置，其特征是，具备与上述排气装置相连的除害装置。

10.如权利要求8或9所述的表面处理装置，其特征是，从上述反应器的出口至上述除害装置的入口的构成部件具有加热和保温机构，上述构成部件的内部温度为氟化氢的沸点以上。

11.如权利要求8～10中任一项所述的表面处理装置，其特征是，上述除害装置具有多个除害塔，上述多个除害塔中至少一塔是独立连接的，并且除了上述独立连接的除害塔之外的至少两塔是串联连接的。

12.如权利要求1～11中任一项所述的表面处理装置，其特征是，还具备对上述被处理物进行加热的加热室。

13.如权利要求1～12中任一项所述的表面处理装置，其特征是，还具备能够将上述被处理物向上述反应器搬送且相对于上述氟气具有耐腐蚀性的可动部件。

14.如权利要求1～13中任一项所述的表面处理装置，其特征是，在上述反应器内还具备设上述被处理物与供给到上述反应器中的上述混合气体之间的板状部件。

15.如权利要求13所述的表面处理装置，其特征是，还具备设在上述可动部件上的上述被处理物与流入上述反应器中上述混合气体之间的板状部件。