[发明专利]从背面研磨过程产生的废料浆中回收硅粉的方法

权利要求书

1.一种从背面研磨过程产生的废料浆中回收硅粉的方法，包括：

从废料浆回收硅粉的收集步骤(S100)，其中收集步骤(S100)将废料浆供至收集离心机(100)并且采用离心分离法从废料浆中收集硅粉，该收集离心机内水平安装有筒体和螺杆轴，并且筒体马达(M1)和螺杆轴马达(M2)被安装为独立地控制筒体和螺杆轴的旋转；以及

对从废料浆中收集的硅粉进行提纯的提纯步骤(S200)，其中提纯步骤(S200)包括：将收集步骤(S100)中收集的硅粉与其中酸作为主要成分且溶解杂质的化学溶液混合的搅拌步骤(S210)；以及将搅拌步骤(S210)中混合的混合物供至提纯离心机(300)并且分离硅粉的分离步骤(S220)。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

在真空干燥器内干燥提纯步骤(S200)中提纯的硅粉的干燥步骤(S300)；以及

包装在干燥步骤(S300)中所干燥硅粉的包装步骤(S400)。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，提纯步骤(S200)以如下顺序交替地进行形成混合物的搅拌步骤(S210)和分离硅粉的分离步骤(S220)：搅拌步骤→分离步骤→搅拌步骤→分离步骤。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，利用收集离心机(100)的收集步骤(S100)包括：

在筒体内表面上收集硅粉的硅粉收集步骤(S110)，其中步骤(S110)高速旋转筒体从而将废料浆分离为硅粉和流体，并且从废料浆中将硅粉收集在筒体的内表面，这样在供给废料浆且停止螺杆轴的同时使流体被排至流体出口；以及

将收集在筒体内表面上的硅粉排出的硅粉排出步骤(S120)，其中步骤(S120)降低筒体的旋转速度以将收集的硅粉保持在筒体内表面上，并且在中断废料浆的供给且旋转螺杆轴的同时排出收集在筒体内表面上的硅粉。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，利用提纯离心机(300)的分离步骤(S220)包括：

将混合物供至筒体内并且高速旋转筒体以从混合物中分离出硅粉(S)和化学溶液并将硅粉(S)收集在筒体内的硅粉收集步骤(S221)；在硅粉收集步骤(S221)之后停止混合物的供应、降低筒体的旋转速度、且用勺形刮刀排出残留在筒体内的化学溶液的化学溶液排出步骤(S222)；以及在化学溶液排出步骤(S222)之后通过移动勺形刮刀去除筒体内所收集硅粉的硅粉去除步骤(S223)。