[发明专利]具有旋转箔陷阱和驱动组件的碎片减缓装置

权利要求书

1.一种用于与辐射源(2)一起使用的碎片减缓装置，该辐射源生成光学辐射，特别是超紫外辐射(EUV)和/或软X射线，并且发射会沉积在所述辐射源(2)的辐射路径内的光学表面上的不期望的物质和/或颗粒，

所述碎片减缓装置至少包含旋转箔陷阱(5)以及具有至少一驱动电机(14)和驱动轴(10)的驱动单元，所述旋转箔陷阱(5)固定到该驱动轴，所述驱动轴(10)由轴承(13)支撑，

其中所述驱动电机(14)和所述轴承(13)封在壳体(20)内，该壳体具有用于所述驱动轴(10)的开孔和用于密封气体的至少一个出口开口(21)，所述出口开口(21)可连接到泵以用于抽出该密封气体，所述开孔设计成限定所述驱动轴(10)和所述壳体(20)之间的间隙(23)，所述间隙(23)连接到供应管(19)以用于通过所述间隙(23)将所述密封气体供应到所述壳体(20)内。

2.根据权利要求1的装置，

其中用于所述驱动轴(10)的导管布置在所述旋转箔陷阱(5)和所述壳体(20)之间，所述导管设计成在所述驱动轴(10)和围绕壁之间形成另一间隙(33)，所述另一间隙(33)连同所述驱动轴(10)和所述壳体(20)之间的所述间隙(23)一起连接到所述供应管(19)。

3.根据权利要求2的装置，

其中所述碎片减缓装置还包含布置在所述旋转箔陷阱(5)和所述驱动单元之间的静态箔陷阱(4)。

4.根据权利要求3的装置，

其中所述导管形成于所述静态箔陷阱(4)内。

5.根据权利要求3的装置，

其中所述导管延伸到形成于所述旋转箔陷阱(5)和所述静态箔陷阱(4)之间的中间空间内。

6.根据权利要求2至5其中一项的装置，

其中所述围绕壁包含到所述另一间隙(33)的泵浦空间(26)，所述泵浦空间(26)连接到泵浦管(27)，该泵浦管可连接到泵以用于抽出该密封气体。

7.根据权利要求1的装置，

其中所述驱动轴(10)和所述壳体(20)之间的所述间隙(23)具有小于200μm的间隙宽度。

8.根据权利要求2的装置，

其中所述驱动轴(10)和所述围绕壁之间的所述另一间隙(33)具有小于100μm的间隙宽度。

9.根据权利要求1的装置，

其中所述驱动单元包含所述壳体(20)内的止回阀(29)，所述止回阀(29)设计和布置成，在通过所述间隙(23)的所述密封气体的流中断条件下，关闭所述驱动轴(10)和所述壳体(20)之间的所述间隙(23)。

10.根据权利要求9的装置，

其中所述止回阀(29)设计和布置成，由于在通过所述间隙(23)的所述密封气体的流中断条件下出现的压力差或由于附连到该止回阀(29)的可移动部件(30)的弹性元件的动作，自动地关闭所述间隙(23)。

11.一种驱动组件，至少包含驱动电机(14)和用以驱动部件的驱动轴(10)，所述驱动轴(10)由轴承(13)支撑，其中所述驱动电机(14)和所述轴承(13)封在壳体(20)内，该壳体具有用于所述驱动轴(10)的开孔和用于密封气体的至少一个出口开口(21)，所述出口开口(21)可连接到泵以用于抽出该密封气体，所述开孔设计成限定所述驱动轴(10)和所述壳体(20)之间的间隙(23)，所述间隙(23)连接到供应管(19)以用于通过所述间隙(23)将所述密封气体供应到所述壳体(20)内。

12.根据权利要求11的驱动组件，

其中用于所述驱动轴(10)的导管布置在所述部件和所述壳体(20)之间，所述导管设计成形成所述驱动轴(10)和围绕壁之间的另一间隙(33)，所述另一间隙(33)连同所述驱动轴(10)和所述壳体(20)之间的所述间隙(23)一起连接到所述供应管(19)。

13.根据权利要求12的驱动组件，

其中所述围绕壁包含到所述另一间隙(33)的泵浦空间(26)，所述泵浦空间(26)连接到泵浦管(27)，该泵浦管可连接到泵用以抽出该密封气体。