[发明专利]缺陷检测及响应

权利要求书

1.一种用于在试样上进行时间延迟锁相热成像的系统，所述系统包括：

红外摄像装置，所述红外摄像装置用于获取所述试样的图像，

扫描部件，所述扫描部件用于以恒定速度在所述试样上移动所述红外摄像装置的视场，

调制部件，所述调制部件用于在移动所述视场时对所述试样提供调制，

时钟源，所述时钟源用于同步所述图像的获取、所述视场的移动以及所述调制的提供，

图像处理器，所述图像处理器用于接收所述获取的图像并生成时间延迟锁相热成像图像，以提供缺陷的检测，以及

仪器装置，所述仪器装置进行修复所述缺陷和标记所述缺陷的位置以进行稍后修复中的至少一项。

2.如权利要求1所述的系统，其中所述仪器装置利用电气隔离所述缺陷的激光器修复所述缺陷。

3.如权利要求1所述的系统，还包括遮光罩和光管中的一个，用于为所述视场提供暗场区域。

4.如权利要求1所述的系统，其中所述图像处理器包括实现下面两个公式的滤波器：

Sm,i=1NYΣn=1NYIm,n(i+n-1)sin[2π(i-1+n-1)f1f2]]]>

Cm,i=1NYΣn=1NYIm,n(i+n-1)cos[2π(i-1+n-1)f1f2]]]>

其中，i＝1，2…，m＝1，2，…N_x，n＝1，2…N_y，f₁为调制频率，f₂为帧速率，N_x和N_y为一帧中在x和y方向上的像素数。