[发明专利]用于测量和表征干涉式调制器的方法

权利要求书

1.一种识别MEMS装置中的转变电压的方法，所述方法包括：

提供包括微机电系统(MEMS)装置的电路，所述电路经配置以针对所施加的电压提供大体上恒定的阻抗；

向所述电路施加恒定电压持续一时间周期；

测量所述MEMS装置上的依据时间而变的电压；以及

基于对所述依据时间而变的电压的所述测量而识别转变电压。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述阻抗独立于所述MEMS装置的状态而保持大体上恒定。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述电路进一步包括与所述MEMS装置串联的电阻，其中所述串联电阻大体上大于所述MEMS装置的电阻。

4.根据权利要求3所述的方法，其中所述串联电阻至少为1MΩ。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述转变电压包括持续一时间周期的大体上恒定的电压。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述MEMS装置包括并联布置的多个MEMS装置。

7.根据权利要求6所述的方法，其中MEMS装置的数目足够使得所述MEMS装置之间的寄生电容在所述多个MEMS装置从第一状态转变到第二状态期间将所述MEMS装置上的所述电压维持在大体上恒定的电平。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述MEMS装置的数目大于100。

9.根据权利要求1所述的方法，其中施加大体上恒定的电压持续一时间周期包括施加保持大体上恒定持续一时间周期的周期性电压。

10.根据权利要求9所述的方法，其中所述周期性电压包括方形波。

11.根据权利要求9所述的方法，其中所述周期性电压在至少3个电压电平之间交替。

12.根据权利要求9所述的方法，其中所述周期性电压至少跨越所述MEMS装置的预定滞后窗。

13.根据权利要求1所述的方法，其中所述MEMS装置包括干涉式调制器。

14.一种识别微机电系统(MEMS)装置阵列中的转变电压的方法，所述方法包括：

向并联布置的MEMS装置阵列施加保持大体上恒定持续一时间周期的驱动电压，其中经由包括与所述MEMS装置阵列串联的电阻的电路来施加所述驱动电压，且其中与所述MEMS装置阵列串联的所述电阻大体上大于所述MEMS装置阵列的电阻；

测量所述MEMS装置阵列上的依据时间而变的所得电压；以及

识别在所述阵列内的所述MEMS装置从第一状态转变到第二状态期间所述所得电压保持大体上恒定持续一时间周期所处的转变电压。

15.根据权利要求14所述的方法，其中所述所施加的驱动电压包括大体上方形波形。

16.根据权利要求14所述的方法，其中所述电路的所述电阻相对于所述MEMS阵列的所述电阻足够大而使得阻抗保持大体上恒定。

17.根据权利要求14所述的方法，其中所述阵列内的所述MEMS装置包括干涉式调制器。

18.根据权利要求17所述的方法，所述第一状态对应于所述干涉式调制器的松弛状态，且所述第二状态对应于所述干涉式调制器的崩溃状态。

19.根据权利要求17所述的方法，所述第一状态对应于所述干涉式调制器的崩溃状态，且所述第二状态对应于所述干涉式调制器的松弛状态。

20.一种确定微机电系统(MEMS)装置中的转变电压的方法，所述方法包括：

使用经配置以针对所施加的电压提供大体上恒定的阻抗的电路来向所述MEMS装置施加包括大体上方形波形的驱动电压；

测量所述MEMS装置上的依据时间而变的电压；以及

确定所述MEMS装置上的所述电压保持大体上恒定持续一时间周期所处的至少第一转变电压。

21.根据权利要求20所述的方法，其额外包括确定所述MEMS装置上的所述电压保持大体上恒定持续一时间周期所处的第二转变电压，其中所述第二转变电压不同于所述第一转变电压。