[发明专利]Ⅲ族金属氮化物单晶的制造方法有效
| 申请号： | 200980103154.0 | 申请日： | 2009-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN101925696A | 公开（公告）日： | 2010-12-22 |
| 发明（设计）人： | 平尾崇行;今井克宏;市村干也 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/38 | 分类号： | C30B29/38;C30B19/12 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 李晓 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属 氮化物 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种III族金属氮化物单晶的制造方法，该方法使用模板基板，其具有：具备侧面以及一对主面的基板主体、形成在基板主体的至少一个所述主面上的III族金属氮化物单晶的基膜，通过液相法，在所述基膜上培养III族金属氮化物单晶，其特征是，
从平面观测，所述基膜呈凸图形，未形成有所述基膜的未成面包围在基膜的整个周围，且在所述基膜成长的所述III族金属氮化物单晶不与成长在其他基膜的III族金属氮化物单晶接触。
2.如权利要求1所述的方法，其特征是，一个所述基板主体上形成有一个所述基膜，所述未成面设置于所述基膜与所述基板主体的边缘部分之间。
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