[发明专利]划线装置及划线方法

说明书

技术领域

本发明涉及划线装置、以及使用了该划线装置的划线方法，该划线装置用于在以液晶显示器为代表的FPD(平板显示器)中使用的面板基板等脆性材料的面板基板上进行划线。

背景技术

对于液晶显示器等FPD中使用的面板基板，通常通过对大尺寸的母板进行划线并截断，从而同时形成多张独立的单个显示器基板。用于对面板基板进行划线的划线装置例如在专利文献1(日本特开2002-20133号公报)中有所公开。

图7表示该公报中公开的划线装置。图7所示的划线装置具有：工作台81，以水平状态载置要形成划线的面板基板70之后对该面板基板70进行保持；多个划线头82，各个划线头82上分别安装有对保持于该工作台81上的面板基板70进行划线的划线轮；以及架桥83，设置有导轨83a，各个划线头82以能够分别独立地进行滑动的方式安装在该导轨83a上。

对于将面板基板70保持为水平状态的工作台81，在将面板基板70保持成水平状态的情况下，可以绕垂直轴即绕图7所示的θ方向进行正反旋转。架桥83以跨越工作台81的方式架设，导轨83a以水平状态配置在工作台81上方。通过线性马达机构，使安装在导轨83a上的各个划线头82能够分别在沿着导轨83a的长度方向的X方向上进行滑动。并且，工作台81能够在正交于导轨83a的方向即Y方向上进行滑动。

各个划线头82的下部分别设置有能够进行升降的划线轮(刀轮刀片)82a。通过使各个划线轮82a压接在保持于工作台81上的面板基板70上，并相对于面板基板70进行相对移动，从而在面板基板70的预定部位上进行划线。由此，在面板基板70上形成划线。

另外，图7所示的划线装置上设置有：一对摄像机84，对设置于面板基板70上的校准标记进行摄像；以及图像显示装置85，显示由各个摄像机84摄像到的图像；等等。

在这样构成的划线装置中，若在工作台81上保持面板基板70，则根据由一对摄像机84摄像到的校准标记，工作台81沿θ方向旋转，对保持于工作台81上的面板基板70与架桥83的导轨83a之间的相对位置进行定位。然后，各个划线头82分别在X方向上滑动，使得各个划线头82的划线轮82a与面板基板70上的预定的Y方向划线起始位置相对置。而且，若各个划线头82的划线轮82a与面板基板70上的Y方向划线起始位置相对置，则各个划线轮82a分别下降，压接在面板基板70的Y方向划线起始位置上。

若处于这种状态，则架桥83整体在Y方向上移动，从而各个划线头82的划线轮82a同时形成多条沿Y方向的划线。

如上所述，通过设置多个划线头82，例如能够沿Y方向同时形成多条平行的划线。因此，能够高效率地实施用于从母面板基板截断出多个面板基板的划线。

另一方面，在FPD的制造工场，存在采用更大尺寸的面板基板作为母板的趋势，为了应对此需求，要求划线装置的载置工作台尺寸也增大。但是，若增大载置工作台尺寸，则通过使工作台旋转来维持母板两端的划线位置精度就会变得更加困难。即，由于采用的是通过马达使工作台绕旋转轴旋转的机构，所以在提高旋转角的分解能方面，存在某种程度的机构上的限制。并且，若载置工作台的尺寸增大，则载置工作台自身变重，其结果导致旋转机构也要大型化。由于这些问题，用于大尺寸母板的划线装置的载置工作台没有采用组装有旋转机构的机械设计。

在划线装置的载置工作台不旋转的情况下，若母板在稍微倾斜地载置于载置工作台上的状态下而被划线，即使图7的划线装置仅搭载一个划线头，仍出现如下问题。即，使划线头在X方向上移动之后，从预定的X位置在Y方向上形成划线时，与被形成划线的母板倾斜量对应地，划线也倾斜地形成。

为了解决该问题，有采用专利文献2(日本特公平6-2597号公报)等中公开的直线插补方法。

在搭载了一个划线头的图7的划线装置的情况下，保持于工作台81上的面板基板70与架桥83的导轨83a之间的相对位置关系，通过根据由一对摄像机84摄像到的校准标记预先进行图像处理来运算，所以根据该运算结果进行直线插补，使得安装在划线头82正下方的划线轮82a沿着面板基板70上的沿Y方向的各个划线预定线移动。该直线插补通过如下方式进行，即，每当架桥83整体在Y方向上移动预定的微小距离，使各个划线轮82a在X方向上移动预定的微小距离，从而进行该直线插补。

并且，还开发出了在FPD用的母面板基板的上下表面同时进行划线并分离的上下截断装置，但是，在这种装置中，由于在基板被输送来的状态下直接对母板进行划线，因此采用了上述的直线插补手法。