[发明专利]压电振动型力传感器

权利要求书

1.一种感测力的方法，包括：

给压电体施加在时间上改变的电压以使所述压电体在特定方向上振动；

使得限制部件以能滑动的方式抵接要被振动的所述压电体，所述限制部件当从外部接收力时被弹性变形以向所述压电体传送所述力；以及

从所述压电体的阻抗感测施加的力，所述压电体的阻抗根据通过对所述限制部件施加的所述力在所述压电体和所述限制部件之间产生的摩擦力而改变。

2.根据权利要求1的感测力的方法，其中，所述限制部件基本上与所述压电体的振动方向平行。

3.一种压电振动型力传感器，包括：

当被施加在时间上改变的电压时在特定方向上振动的压电体；

被设置在所述压电体的表面上的一对驱动电极；和

当从外部接收力时被弹性变形以向所述压电体传送所述力的限制部件，

其中，所述限制部件相对于其上设置所述一对驱动电极的所述压电体以能滑动的方式被保持，并且，在施加所述电压以使所述压电体振动的状态中，通过感测根据经由所述限制部件对所述压电体施加的所述力所产生的摩擦力而改变的所述压电体的阻抗，感测施加的力。

4.根据权利要求3的压电振动型力传感器，其中，所述限制部件基本上与其上设置所述一对驱动电极的所述压电体的振动方向平行。

5.根据权利要求3的压电振动型力传感器，其中，所述限制部件具有引导电极，所述引导电极设置在与所述一对驱动电极中的每一个接触的表面上。