[发明专利]真空吸盘有效
| 申请号: | 200980102484.8 | 申请日: | 2009-01-19 |
| 公开(公告)号: | CN101919040A | 公开(公告)日: | 2010-12-15 |
| 发明(设计)人: | 林权炫 | 申请(专利权)人: | 林权炫 |
| 主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68 |
| 代理公司: | 北京华夏博通专利事务所 11264 | 代理人: | 刘俊 |
| 地址: | 韩国首*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 真空 吸盘 | ||
1.一种真空吸盘,其特征在于,该真空吸盘包括:
本体(100),其上具有排列成格子状的多个支撑突起(110)和真空槽(111),其内部分别形成有设置空间(120)、真空空间(121)和过滤器空间(122),在过滤器空间(122)的上部形成有与真空槽(111)相通的真空孔(123),在后方二侧具有分别与设置空间(120)和真空空间(121)分别相通的入口(130)和出口(131);
空气储存阀(B)、真空传感器(S)、真空产生器(V)和过滤器(F),分别设置在上述本体(100)的设置空间(120)、真空空间(121)和过滤器空间(122)中;
压力计(200)和真空计(300),分别安装在上述本体(100)的前方二侧,与入口(130)和真空空间(121)分别相通;
开关(400),可前后移动地设置在上述本体(100)的前方中央里,以开闭真空空间(121);
本体外壳(500),与上述本体(100)的下部气密地连接;以及
过滤器外壳(600),与上述过滤器空间(122)的下部连接。
2.如权利要求1所述的真空吸盘,其特征在于,在上述本体(100)的内部形成有与入口(130)以及压力计(200)相通的第一压力线(140),在上述本体(100)的内部形成有与空气储存阀(B)和真空发生器(V)相通的第二压力线(141),在上述本体(100)的内部形成有与真空空间(121)、过滤器空间(122)和真空计(300)相通的真空线(142),在上述本体(100)的前方二侧里容纳压力计(200)和真空计(300)的量器外壳(150),在上述本体(100)的前方中央里形成有容纳开关(400)的开关槽(160)。
3.如权利要求2所述的真空吸盘,其特征在于,在上述量器外壳(150)的内侧中央部具有与压力计(200)、真空计(300)的螺栓(210)和(310)螺纹连接的母螺旋(151),在上述母螺旋(151)的前方下部里分别形成有扳手槽(152),以旋转压力计(200)和真空计(300)的螺帽(211)和(311)。
4.如权利要求2所述的真空吸盘,其特征在于,在上述开关槽(160)中具有栓(161),在上述开关(400)的一外表面上,形成插入至栓(161)的栓槽(410)以及控制槽(411),在上述开关(400)的后方外表面上具有第一环状槽(420)和第二环状槽(430),在上述第一环状槽(420)和第二环状槽上(430)上形成有与真空线(142)相通的第一通孔(421)和第二通孔(431),在上述第一通孔(421)的中央,向后方贯通了与真空空间(121)相通的第一连接孔(422),在上述第二通孔(431)的中央里,向前方贯通了与外部相通的第二连接孔(432)。
5.如权利要求1所述的真空吸盘,其特征在于,在上述支撑突起(110上形成有用于设定基准点的母螺旋(110a)。
6.如权利要求1所述的真空吸盘,其特征在于,在上述真空孔(123)的上部外侧形成有防止异物进入内部的门槛(123a)。
7.如权利要求1所述的真空吸盘,其特征在于,在上述本体外壳(500)上形成有过滤器插入孔(510),在过滤器外壳(600)上具有插入在过滤器插入孔(510)中的插入管(610),在上述插入管(610)的一侧形成有切开部(611),从而贯通真空线(142)。
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