[发明专利]使用多台摄像机的衬底检查

权利要求书

1.一种用于检查的装置，包含：

包含多台摄像机的成像组件，所述多台摄像机安装在所述成像组件中的各自不同地点中，并被配置成捕获样品的各自图像；

运动组件，被配置成移动所述成像组件和所述样品的至少一个，以便使所述成像组件以受预定位置公差限制的扫描精度扫描所述样品；以及

图像处理器，耦合成接收和处理所述摄像机捕获的图像，以便以比所述位置公差优良的位置精度定位所述样品中的缺陷。

2.按照权利要求1所述的装置，其中，各自图像的每个包含具有与所述成像组件中的所述摄像机捕获的一个或多个相邻图像重叠的区域的所述样品的各自区域，以及其中所述图像处理器被配置成使用重叠区域相互对齐各自图像，以便计算缺陷的位置。

3.按照权利要求2所述的装置，其中，所述相邻图像具有在所述运动组件的位置公差内变化的各自相对偏移，以及其中所述图像处理器被配置成计算所述各自相对偏移。

4.按照权利要求3所述的装置，其中，所述图像包含具有间距的像素，并且其中所述图像处理器被配置成以比所述间距优良的精度计算所述各自相对偏移，并使用所述各自相对偏移组合图像，以产生具有比所述间距优良的分辨率的合成图像。

5.按照权利要求2所述的装置，其中，所述图像包括具有像素值的像素并且具有给定信噪比(SNR)，以及其中所述图像处理器被配置成求和重叠区域中相邻图像的像素值，以便产生具有比给定SNR大的SNR的合成图像。

6.按照权利要求2所述的装置，其中，所述图像处理器被配置成响应出现在至少一台所述摄像机捕获的各自图像中的所述样品上的周期性模式、和所述运动组件引起的所述样品与所述成像组件之间的相对运动地恢复虚拟位置时钟，并将所述虚拟位置时钟用在相互对齐各自图像中。

7.按照权利要求1所述的装置，包含至少一个光源，所述至少一个光源被配置成在所述成像组件扫描所述样品期间至少在第一和第二不同照明配置下照明所述样品，以便所述摄像机捕获的图像至少包含扫描时在不同位置上分别在所述第一和第二照明配置下捕获的第一和第二组图像。

8.按照权利要求1所述的装置，其中，所述运动组件被配置成不抓住所述样品地使所述样品相对于所述成像组件运动。

9.按照权利要求1所述的装置，其中，所述多台摄像机包含至少二十台摄像机。

10.按照权利要求9所述的装置，其中，所述多台摄像机包含至少一百台摄像机。

11.按照权利要求1所述的装置，其中，所述成像组件中的所述摄像机沿着与所述运动组件的扫描方向垂直的方向排列在至少一行中的各自位置中，以便每台所述摄像机随着所述成像组件扫描所述样品捕获的图像沿着所述运动组件的扫描方向覆盖各自一长条所述样品，和以便在所述成像组件跨过所述样品的单次扫描中这些长条一起覆盖所述样品的整个有效区。

12.按照权利要求11所述的装置，其中，所述至少一行至少包含第一和第二行，以及其中所述第一行中的所述摄像机的各自位置相对于所述第二行中的所述摄像机的位置在横向是错开的。

13.按照权利要求1所述的装置，其中，所述运动组件被配置成使所述成像组件沿着扫描方向扫描所述样品，并且其中所述装置包含至少一台后续检查摄像机和一个横向运动单元，所述横向运动单元被配置成在所述成像组件扫描所述样品的同时，使所述至少一台后续检查摄像机沿着与扫描方向垂直的方向移动，以便所述至少一台后续检查摄像机对所述图像处理器定位的缺陷区域成像。

14.按照权利要求13所述的装置，其中，所述图像处理器被配置成计算误差信号，所述误差信号指示所述运动组件的运动相对于理想运动模型的偏差，并响应所述误差信号驱动所述至少一台后续检查摄像机对所述缺陷区域成像。

15.一种用于检查的方法，包含：

以受预定位置公差限制的扫描精度，使用包含多台摄像机的成像组件扫描样品，所述多台摄像机安装在所述成像组件中的各自不同地点中；

在扫描所述样品的同时利用所述摄像机捕获所述样品的各自图像；以及

处理所述摄像机捕获的图像，以便以比所述位置公差优良的位置精度定位所述样品中的缺陷。