[发明专利]有机电致发光显示屏及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及有机EL(Electroluminescent：电致发光)显示屏和其制造方法。

背景技术

有机EL显示屏具有形成在基板上的多个有机EL元件。各个有机EL元件通常具有由像素电极(阳极)和阴极构成的电极对以及由电极对夹着的有机发光层等功能层。通常有时通过蒸镀法或溅射法等形成各个电极和各个功能层，但也能够通过涂敷法形成。

在通过涂敷法形成各个电极和各个功能层时，在由绝缘性材料构成的隔堤所规定的区域内滴入或涂敷液状物质，并使其干燥。若不能适当地控制隔堤表面的对液状物质的亲和性，则所形成的层的膜厚均匀性容易下降。若所形成的层的膜厚均匀性较低，则在作用为有机EL显示屏时发生亮度不均匀等而使图像特性下降。

为了将滴入或涂敷的液状物质限制于由隔堤规定的区域内，通常需要使隔堤的表面具有抗液性。但是，若隔堤的内侧侧面具有抗液性，则不能将液状物质控制在所期望的位置而难以形成均匀的膜。因此优选的是，隔堤的侧面的一部分(特别是隔堤内侧面的下侧部)具有亲液性，而且隔堤内侧面的上侧部具有抗液性。

因此，作为两层结构的隔堤公开了下述结构，即，使隔堤的下层具有亲液性而且使其上层具有抗液性(参照专利文献1～5)。例如，公开了下述技术，即，通过向两层结构的隔堤所规定的区域提供液状物质，形成有机发光层等功能膜，所述两层结构的隔堤具有由无机材料构成的下层和由有机材料等构成的上层。另外例如，也已知下述技术，即，仅在两层结构的隔堤的上层形成抗液性膜(参照专利文献6～7)。

另外已知下述方法，即，通过对形成在物质表面的有机薄膜照射光，选择性地变换表面的物性(参照专利文献8等)。有时将这样的有机薄膜称为自组装有机薄膜(self-assembled organic thin film)等。例如，已知下述自组装有机薄膜，即，能够在照射紫外线后照射部位的有机薄膜的分子结构发生变化而使表面的水接触角变化。

已知下述技术，即，在包围有机EL元件的涂敷区域的隔堤上形成自组装有机薄膜，规定涂敷形成的功能层(参照专利文献9～10)。在专利文献6公开了下述方法，即，通过对形成在隔堤(bank)的表面的、具有抗液性的自组装膜进行光图案化，仅在隔堤的上表面残留具有抗液性的自组装膜。

专利文献1：(日本)特开2004-171007号公报

专利文献2：(日本)特开2005-326799号公报

专利文献3：美国专利申请公开2005/0116632

专利文献4：(日本)特开2006-216297号公报

专利文献5：美国专利申请公开第2006/017038

专利文献6：(日本)特开2007-95512号公报

专利文献7：美国专利申请公开第2007/0071885

专利文献8：(日本)特开2006-188487号公报

专利文献9：(日本)特开2002-237383号公报

专利文献10：美国专利申请公开第2002/0016031

发明内容

如上所述，期望若使隔堤的侧壁的下部具有亲液性且使隔堤的侧壁的上部具有抗液性，则能够形成均匀的涂敷膜。因此，本发明提供在隔堤的侧壁中正确且自由地控制亲液性表面与抗液性区域之间的边界的方法。由此，提供在由隔堤规定的区域形成均匀的涂敷膜的方法。

另外，在形成具有无机材料的下层和有机材料的上层的两层结构的隔堤时，通过控制由无机材料构成的下层的厚度，调整亲液性的区域。但是，如果使由无机材料构成的层过厚，则不仅在成膜时耗费时间，而且在对膜进行蚀刻时容易过度蚀刻。有时由于过度蚀刻而损伤位于由无机材料构成的层之下的部件。

因此，本发明提供下述技术，即，更容易且精确地形成在隔堤的内侧面的一部分(内侧面的下部)具有亲液性的隔堤。进而，使规定涂敷区域的隔堤的内侧面为锥形，更提高涂敷膜的均匀性。这样，提供下述有机EL显示屏，即，在各个有机EL元件中，在由隔堤规定的区域内均匀地形成有机发光层等功能层并且亮度不均较少。另外，一并提供具有较高均匀性的有机半导体层的有机TFT(薄膜晶体管)。

也就是说，本发明的第一方面涉及以下所述的有机EL显示屏。