[发明专利]压电/电致伸缩膜型元件的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及压电/电致伸缩膜型元件的制造方法，该压电/电致伸缩膜型元件具有设置有空腔的基板和，在该基板的第1主面上与该空腔的平面位置相对应而设置的将电极膜与压电/电致伸缩膜层叠而成的振动层叠体。 

背景技术

图42的剖视图是说明压电/电致伸缩膜型元件的现有制造方法的模式图，该压电/电致伸缩膜型元件是构成喷墨打印机的喷嘴所使用的喷墨用压电/电致伸缩执行器的主要部件。 

在现有制造方法中，首先，如图42(a)所示，在设置有作为油墨加压室的空腔926的基板902的表面上，丝网印刷有导电材料的糊剂，将所得的涂覆膜烧成得到下部电极膜912。其后，如图42(b)所示，重叠于下部电极膜912之上，丝网印刷压电/电致伸缩材料的糊剂，将所得的涂覆膜烧成得到压电/电致伸缩体膜914。继此后，如图42(c)所示，重叠于压电/电致伸缩体膜914之上，丝网印刷导电材料的糊剂，将所得的涂覆膜烧成得到上部电极膜916。 

此外，专利文献1中，公开了喷墨打印机的喷嘴所使用的喷墨用压电/电致伸缩执行器的制造方法 

专利文献1：日本专利第3999044号公报 

发明内容

然而，现有的制造方法存在如下问题：由于基板或丝网版的尺寸的不均一或变形引起的下部电极膜、压电/电致伸缩体膜以及上部电极膜的全体或部分的平面位置与空腔的平面位置偏离，从而使得压电/电致伸缩执行器的油墨喷出量不均一。这一问题，不仅存在于构成压电/电致伸缩执行器的主要部件的压电/电致伸缩型元件中，也同样存在于具有振动层叠体的压电/电致伸缩型元件(该压电/电致伸缩型元件具有设置有空腔的基板以及在该基板的第1主面上与该空腔的平面位置相对应而设置的将电极膜与压电/电致伸缩膜层叠而成 的振动层叠体)中，例如，具有振动板(diaphragm)结构的压电薄膜谐振器(FBAR；Film Bulk Acoustic Resonator)。而且，该问题在通过丝网印刷法形成构成振动层叠体的膜之外，例如，溅射沉积法、溶胶凝胶法、MOCVD(MetalOrganic Chemical Vapor Deposition)法等形成的情况下也同样产生。 

本发明，是为了解决该问题而进行的，其目的在于提供一种压电/电致伸缩膜型元件的制造方法，该制造方法可以防止空腔的平面位置与构成层叠电极膜和压电/电致伸缩膜而成的振动层叠体的膜的平面位置相偏离。 

为了解决上述课题，第1发明为，压电/电致伸缩膜型元件的制造方法，该压电/电致伸缩膜型元件具有形成有空腔的基板、在上述基板的第1主面上与上述空腔的平面位置相对应而设置的层叠电极膜和压电/电致伸缩膜而成的振动层叠体；该方法具有：(a)在上述基板的第1主面形成第1感光膜的工序；(b)从上述基板的第2主面一侧照射光，将转录有上述空腔的平面形状的潜影描画于上述第1感光膜的工序；(c)通过显影除去在形成有上述空腔区域所形成的上述第1感光膜的工序；(d)在除去上述第1感光膜的区域形成构成上述振动层叠体的最下层的膜的工序；(e)将残存于未形成上述空腔的区域的上述第1感光膜除去的工序。 

第2发明为，在第1发明的压电/电致伸缩膜型元件的制造方法中，还具有：(f)在上述工序(b)之前向上述空腔填充遮光剂的工序；上述工序(b)对于在未形成上述空腔的区域所形成的上述第1感光膜进行选择性的曝光，上述工序(c)除去上述第1感光膜的未曝光部分。 

第3发明为，在第2发明的压电/电致伸缩膜型元件的制造方法中，上述遮光剂含有颜料。 

第4发明为，在第1发明的压电/电致伸缩膜型元件的制造方法中，上述工序(b)对于在形成上述空腔的区域所形成的上述第1感光膜进行选择性的曝光；上述工序(c)除去上述第1感光膜的曝光部分。 

第5发明为，在第4发明的压电/电致伸缩膜型元件的制造方法中，还具有(g)在上述工序(b)之前在上述基板的第2主面的未形成有上述空腔的区域形成遮光膜。 

第6发明为，在第5发明的压电/电致伸缩膜型元件的制造方法中，上述 遮光膜含有颜料。