[发明专利]正型感光性树脂组合物、固化膜、保护膜、绝缘膜及电子器件和显示器件无效

专利信息
申请号: 200980000023.X 申请日: 2009-01-07
公开(公告)号: CN101681100A 公开(公告)日: 2010-03-24
发明(设计)人: 水岛彩子;真壁裕明;竹田真滋 申请(专利权)人: 住友电木株式会社
主分类号: G03F7/023 分类号: G03F7/023;C08G69/42;G03F7/004;G03F7/075
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人: 吴小瑛;吕俊清
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 感光性 树脂 组合 固化 保护膜 绝缘 电子器件 显示 器件
【权利要求书】:

1.正型感光性树脂组合物,其包含:

碱溶性树脂(A),其含有的分子量≥80,000的成分含量≤0.5%;和

感光剂(B);

其中,相对于100重量份的所述碱溶性树脂(A)的量,所述感光剂(B)的量为10重量份~40重量份。

2.如权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,其中,所述碱溶性树脂(A)的重复单元由通式(1)表示:

其中,X和Y为有机基团;a和b表示摩尔百分数,且当a+b=100时,60≤a≤100,0≤b≤40;R1为羟基基团、-O-R3或具有1-15个碳原子的有机基团,且当存在多个R1时,各R1之间相同或不同;R2和R8为羟基基团、羧基基团、-O-R3或-COO-R3,且当存在多个R2和多个R8时,各R2之间相同或不同,各R8之间相同或不同;m为0-4的整数;n为0-4的整数;R3为具有1-15个碳原子的有机基团,前提是当所有R1都不是羟基基团时,R2和R8中的至少一个必须为羧基基团,或者当所有R2和R8都不是羧基基团时,至少有一个R1必须为羟基基团;Z由-R4-Si(R6)(R7)-O-Si(R6)(R7)-R5-表示,其中R4至R7为有机基团。

3.如权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物,其中所述感光剂(B)为重氮萘醌化合物。

4.如权利要求1-3中任一项所述的正型感光性树脂组合物,其还包含具有酚羟基基团的化合物(C)。

5.如权利要求1-4中任一项所述的正型感光性树脂组合物,其中通式(1)中的X包括式(2)表示的结构:

其中Rx表示与NH相连;R9为选自组成如下的组中的有机基团:亚烷基、取代亚烷基、-O-、-S-、-SO2-、-CO-、-NHCO-和单键;R10为烷基基团、烷氧基基团、酰氧基基团或环烷基基团,各R10之间相同或不同;R11为氢、烷基基团、烷氧基基团、酰氧基基团或环烷基基团,各R11之间相同或不同。

6.如权利要求1-4中任一项所述的正型感光性树脂组合物,其中,通式(1)中的X包括式(3)表示的结构:

7.如权利要求1-6中任一项所述的正型感光性树脂组合物,其中,通式(1)中的Y包括式(4)表示的结构:

8.固化膜,其由权利要求1-7中任一项所述的正型感光性树脂组合物的固化产物构成。

9.保护膜,其由权利要求8所述的固化膜组成。

10.绝缘膜,其由权利要求8所述的固化膜组成。

11.半导体器件,其包含权利要求8所述的固化膜。

12.显示器件,其包含权利要求8所述的固化膜。

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