[实用新型]电阻式蒸镀装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种蒸镀装置，更具体地涉及一种用于制备有机电致发光器件的薄膜的电阻式蒸镀装置。

背景技术

有机电致放光器件广泛应用于有机半导体的工业领域中，而其中，蒸镀是其在制备有机薄膜过程中的一个重要工艺。目前，最常见、应用最广泛的一种蒸镀技术为电阻式加热。

此种电阻式蒸镀装置一般包括蒸发舟、分别与蒸发舟的两末端相连的支撑台，支撑台包括支撑蒸发舟的支撑座以及与承载支撑座并向其提供电流的电极块。该种电阻式蒸镀装置的工作原理为：电流、电压从电极块传导至支撑座，继而传导至蒸发舟的两端，此外加的电流、电压使得蒸发舟自身产生电阻效应而发热，从而致使蒸发舟中的待蒸镀材料，如金属材料、半导体材料等熔融，直至蒸发后附着于被镀物上形成所需的蒸镀膜。

此种利用电阻发热而产生高温的电阻式蒸镀装置往往要求蒸发舟、支撑座、电极块三者之间的电连接性能良好，才能保证蒸发舟的工作效率及其稳定性。然而，在上述的电阻式蒸镀装置中，由于蒸发舟与支撑座及电极块之间采用简单的连接固定，这将导致传导至蒸发舟的电流电压不稳定，电流时大时小，反复使用后则容易对蒸发舟造成损坏，加速蒸发舟的老化从而降低其使用寿命。换言之，则加快了蒸发舟的更换频率。然而，在繁琐的更换过程中亦存在损坏蒸发舟的危险。

因此，提供一种结构简单、更换便捷，而且电连接性能良好，从而提高工作效率及稳定性，且使用寿命长久的电阻式蒸镀装置实为必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种电阻式蒸镀装置，其结构简单、更换便捷，而且电连接性能良好，从而提高工作效率及稳定性，并延长其使用寿命。

为实现上述目的，本实用新型的电阻式蒸镀装置包括蒸发舟以及分别与所述蒸发舟的两末端相连的两支撑台。其中，每一所述支撑台包括支撑座、电极块、压紧件。所述支撑座具有支撑所述蒸发舟的支撑表面，所述蒸发舟的末端固定于所述支撑表面上。所述电极块具有承载所述支撑座的配合表面，所述支撑座连接于所述配合表面上以实现电连接。所述压紧件抵压于所述蒸发舟的末端之上并与所述支撑座可拆卸地连接。压紧件在蒸发舟的末端之上施加紧固力，并对蒸发舟进行可拆卸的限位固定，此种设计，使得蒸发舟与支撑座及电极块之间的连接更加紧密，从而稳定了三者的电连接，即稳定了蒸发舟的电阻效应，从而提高其工作效率，延长其使用寿命。而蒸发舟与压紧件及支撑座之间采用可拆卸的连接方式，便于对蒸发舟进行更换。

较佳地，由所述支撑座的支撑表面纵向延伸出两护板，两所述护板之间形成支撑区域，所述蒸发舟的末端承载于所述支撑区域中。该两护板起限位作用，可防止蒸发舟向两侧移动。

较佳地，所述支撑台还包括铰轴，所述护板与所述压紧件沿同一直线均开设有通孔，所述铰轴枢接地穿过所述通孔使所述压紧件与所述支撑座枢接。压紧件与支撑座通过铰轴枢接，压紧件可绕铰轴旋转，便于安装与拆卸。

较佳地，所述支撑台还包括第一螺钉，所述压紧件的表面上设有第一螺孔，所述第一螺钉啮合地穿过所述第一螺孔使所述压紧件固定地抵压与所述蒸发舟的末端上。通过使用螺钉，既可保证压紧件能稳固地向蒸发舟的末端施力，亦能便于安装与拆卸。

较佳地，与所述支撑座的支撑表面相对的表面上设有凸棱，所述电极块的配合表面上开设有凹槽，所述凸棱与所述凹槽相配合。凸棱与凹槽的配合起限位作用，使得支撑座与电极块的配合更加紧密。

通过以下的描述并结合附图，本实用新型将变得更加清晰，这些附图用于解释本实用新型的实施例。

附图说明

图1为本实用新型电阻式蒸镀装置的一个优选实施例的结构示意图；

图2为本实用新型电阻式蒸镀装置的另一结构示意图；

图3为本实用新型电阻式蒸镀装置的又一结构示意图。

具体实施方式

下面结合优选实施例及附图对本实用新型作进一步的描述，但本实用新型的实施方式不限于此。

请参考图1-3，本实用新型电阻式蒸镀装置1的一个优选实施例包括蒸发舟10及两支撑台20。蒸发舟10的中部开设有一用于盛装待蒸镀材料的蒸发槽11，蒸发舟10的两末端13分别与两支撑台20相连。

具体地，如图1-3所示，支撑台20包括支撑座21、压紧件22及电极块23。其中，蒸发舟10的末端13固定于支撑座21上，压紧件22从蒸发舟10的末端13之上抵压于支撑座21上，而支撑座21则固定于电极块23之上。其中支撑座21为导电材料，电极块23向支撑座21传导电流电压，继而电流电压传导至蒸发舟10上，从而使蒸发舟10产生电阻效应而发热。