[实用新型]用于真空沉积系统的侧热台

权利要求书

1.一种用于真空沉积系统的侧热台，其特征在于，包括：电热盘、热电偶、底座、导热盖、压片和导热面板，其中：导热盖卡接于底座上，电热盘和热电偶分别固定设置于底座内，导热面板固定设置于电热盘的外侧并与受热体相接触，压片的一端固定设置于导热盖上，另一端与受热体相接触。

2.根据权利要求1所述的用于真空沉积系统的侧热台，其特征是，所述的电阻丝为直线状结构。

3.根据权利要求1所述的用于真空沉积系统的侧热台，其特征是，所述的底座上设有凸块，所述的导热盖上对应位置设有卡口。

4.根据权利要求1所述的用于真空沉积系统的侧热台，其特征是，所述的导热盖为分体式结构或整体式结构。

5.根据权利要求4所述的用于真空沉积系统的侧热台，其特征是，所述的导热盖为分体式结构，该导热盖上设有一个独立的可拆卸的导热面板。

6.根据权利要求4所述的用于真空沉积系统的侧热台，其特征是，所述的导热盖为整体式结构，导热盖的外部即为导热面。