[实用新型]分配器所用托台

权利要求书

1.一种分配器所用托台，所述托台包括

底板；

多个支承块，每一个支承块具有多个凹腔，支承块与底板结合；

多个支承板，每个支承板插入所述多个凹腔中的每一凹腔内以支承基板；以及

连接支承板和支承块的连接构件。

2.如权利要求1所述的分配器所用托台，其中支承块内部具有真空通道，支承板在其上表面中具有多个通孔，所述多个通孔连接到真空通道。

3.如权利要求1所述的分配器所用托台，其中一个或多个高度调整板布置在凹腔的底部与支承板的底面之间。

4.一种分配器所用托台，所述托台包括

底板；

多个支承块，每个支承块具有真空通道和多个凹腔，支承块与底板结合；

多个支承板，每个支承板具有多个连接于真空通道的通孔，每个支承板插入所述多个凹腔中的每一凹腔内以支承基板；

调整支承板高度的高度调整构件；

连接支承板和支承块的连接构件；以及

布置在支承块中的凹腔的底部与支承板的底面之间的防真空泄漏部件，防止真空泄漏。

5.如权利要求4所述的分配器所用托台，其中高度调整构件包括多个定位螺钉，每个定位螺钉旋进支承板的螺孔中，每一个定位螺钉的一个端部由凹腔的底部支承，连接构件包括多个螺钉，每个螺钉穿过支承板并旋进支承块中的螺孔中。

6.如权利要求5所述的分配器所用托台，其中所述定位螺钉与所述螺钉相邻并形成一对。

7.如权利要求4所述的分配器所用托台，其中防真空泄漏部件包括密封圈，所述密封圈环绕支承板的通孔。

8.如权利要求1和4中的任一项所述的分配器所用托台，其中当支承板保持在其相配凹腔中时，支承板的上表面从支承块的上表面突出。

9.如权利要求1和4中的任一项所述的分配器所用托台，其中支承块与底板制成一体。

10.如权利要求1和4中的任一项所述的分配器所用托台，其中支承块的外表面上形成有防止静电发生的保护层。