[实用新型]一种热氧化炉

权利要求书

1.一种热氧化炉，其特征在于，包括顺次连接的洗涤器、催化反应炉和气路，所述催化反应炉包括多个催化管，所述催化管内填充有催化剂，所述催化管外绕有加热电阻丝；所述加热电阻丝连接有加热控温系统，以控制所述加热电阻丝的加热温度；所述洗涤器的入口输入待检测空气，所述催化反应炉的出口通过所述气路连接到气体分析仪器。

2.根据权利要求1所述的热氧化炉，其特征在于，所述洗涤器包括气嘴、气室和密封盖，其中，所述气室为圆柱状，由中间隔板将气室分为两部分，气体从气嘴进入气室，形成U形气路，由另外一个气嘴出来进入所述催化反应炉，所述密封盖对所述气室形成密封。

3.根据权利要求2所述的热氧化炉，其特征在于，所述洗涤器与催化反应炉的连接接头为聚四氟材料的带有螺纹的密封螺丝环。

4.根据权利要求1所述的热氧化炉，其特征在于，所述催化反应炉为一体一腔式催化反应炉，催化反应炉的每个腔内设有多个催化管。

5.根据权利要求1所述的热氧化炉，其特征在于，所述催化反应炉为一体多腔式催化反应炉，催化反应炉的每个腔内设有一个催化管。

6.根据权利要求1所述的热氧化炉，其特征在于，所述加热控温系统包括控温仪、固态继电器、温度探头，所述温度探头与所述控温仪连接，用于探测催化管内的反应温度并将温度值输出给所述控温仪；所述固态继电器连接在所述控温仪与所述加热电阻丝之间，所述控温仪根据所述温度探头输出的温度信号控制固态继电器的通断，从而控制所述加热电阻丝的加热温度。

7.根据权利要求6所述的热氧化炉，其特征在于，所述温度探头为K型热电偶。

8.根据权利要求1所述的热氧化炉，其特征在于，所述催化管为石英管，其外形是螺旋状的圆柱体。

9.根据权利要求1所述的热氧化炉，其特征在于，所述加热控温系统有多组，每组控制一个催化管外侧加热电阻丝的加热温度。

10.根据权利要求1所述的热氧化炉，其特征在于，所述催化反应炉外部设有硅酸铝浇注而成的隔热层。