[实用新型]一种平板探测器件

权利要求书

1.一种平板探测器件，其特征在于：包含前基板，后基板，及气密封于前后基板之间的包含网格孔阵列的网格孔阵列板(4)，所述的前基板包括前衬底玻璃板(7)、在前衬底玻璃板上表面制作的第一电极组(8)和在前衬底玻璃下表面蒸镀的薄膜(6)，所述的后基板包括后衬底玻璃板(2)、在后衬底玻璃板下表面制作的第二电极组(1)和在后衬底玻璃上表面蒸镀的薄膜(3)；在网格阵列板(4)上涂覆有一层闪烁体(5)材料。

2.根据权利要求1所述的平板探测器件，其特征在于网格孔阵列板(4)的网格孔为锥台形通孔，锥台形通孔的大底面(9)位于网格孔阵列板的上表面，锥台形通孔的小底面(10)位于网格孔阵列板的下表面，网格阵列板(4)的厚度为50μm-5mm。

3.根据权利要求1所述的平板探测器件，其特征在于：所述的锥台为圆锥台。

4.根据权利要求1所述的平板探测器件，其特征在于：所述的网格孔阵列板(4)为金属板或绝缘板。

5.根据权利要求1所述的平板探测器件，其特征在于：所述的第一电极组(1)由银、铜或铝材料通过蒸镀光刻工艺构成，或由铟锡氧化物半导体透明导电膜或氧化锌透明导电薄膜构成，所述的第二电极组(8)银、铜或铝材料通过蒸镀光刻工艺构成，或由铟锡氧化物半导体透明导电膜或氧化锌透明导电薄膜构成。