[实用新型]一种悬垂液滴型键合丝退火液连续施加装置

说明书

技术领域

本实用新型装置涉及一种在线的金属丝材退火后冷却兼表面涂覆防粘物质的装置，尤指一种在键合丝退火机上安装的悬垂液滴型键合丝退火液连续施加装置。 

背景技术

在半导体分立器件、集成电路封装用键合丝生产中，键合丝的机械性能控制是在热处理(丝材在线退火)工序实现的。在这一环节中，加工至成品直径(15-50μm)的键合丝由放线轴引出，以一定速度进入设定好温度的连续退火炉中加热、出炉后经冷却装置冷却、最后由收线轴逐层卷取直至完成整根丝材的热处理。 

在这一过程中，冷却装置的作用是将经高温加热的键合丝在被卷曲前恢复常温，并同时在键合丝表面涂覆一层薄膜以防止多层卷取的键合丝发生互相粘连现象。 

防止键合丝粘连的效果是否理想与退火液的施加方式有重要关系。 

常见的键合丝退火液施加方式主要有两种： 

第一种是循环浸泡式：键合丝持续穿过由循环供液系统支持的浸泡槽，完成冷却和涂覆功能。其主要缺点是1.退火液随着不断消耗而引起浓度变化且不易控制，影响防粘黏效果的一致性；2.因循环使用，退火液的洁净度无法始终如一，影响键合丝的外观质量。 

第二种是擦拭式：两层柔软、吸水的布质材料层叠，用点滴输液的方式向上面的布质材料间歇注入退火液，使键合丝在两层吸满退火液的布质材料之间持续穿过，完成冷却和涂覆功能。其主要缺点是1.退火液涂覆不易均匀；2.布料掉毛，污染键合丝表面；3.可能造成键合丝表面擦伤；4.污物存 留在两层布料之间，可能对后续的键合丝造成污染。 

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型杜绝了上述两种退火液施加方式的缺点，采用垂悬的液滴，实现了冷却与涂覆的同时完成。 

本实用新型的主要目的是消除键合丝退火后层绕易产生的粘连现象，减少废品、提高后道工序的工作效率。 

本实用新型的次要目的是消除其它退火液施加方式的负面作用，使冷却和涂覆功能在尽可能理想的条件中实现。 

本实用新型是这样实现的：退火液置于输液瓶中，调节流量调节阀使退火液液滴悬垂于滴液嘴口处不落下，引出键合丝使其包裹于悬垂的液滴内，启动收线轴卷取键合丝，同时适当调大流量调节阀，以一定速度被卷取的键合丝所不断带走退火液，输液瓶中的退火液不断予以补充，从而建立起平衡，完成金丝的冷却与涂覆。为了避免因悬垂液滴不慎落下而导致过程失效，特设置两个滴液嘴同时工作。 

本实用新型装置特征在于：输液管一端与输液瓶接通，另一端与三通接口连接。 

本实用新型的有益技术效果是：以浓度不变的退火液、在最洁净的条件下、不伤害键合丝表面、用最节省退火液的方式，实现了退火键合丝的冷却和表面涂覆。 

附图说明

图1为悬垂液滴型退火液施加装置示意图。 

输液瓶1，输液管2，三通3，流量调节阀4，滴定嘴5，退火液6，退火炉7，键合丝8，收线轴9 

具体实施方式

下面结合附图对该实用新型作进一步描述。 

本实用新型装置由支架、输液瓶、输液管、三通、流量调节阀、滴液嘴、定位卡组成。将按适当比例配置好的退火液置于输液瓶中，输液瓶由支架固定高度，退火液依次通过输液管、三通接头到达滴定嘴处，滴定嘴有两个，三通设置有三个流量调节阀，一个为总调节阀可同时控制两个滴定嘴流量，另两个流量阀可分别调节每个滴定嘴流量。准备工作开始时，通过调节三通流量阀控制退火液液滴悬垂于滴液嘴口处不落下，使得从退火炉石英管尾端引出的键合丝包裹于悬垂的液滴内，启动收线轴卷取键合丝，这时适当调大流量调节阀，当以一定速度被卷取的键合丝所持续带走的退火液与调大调节阀不断补充的退火液等量时，此过程建立起平衡，同时完成了键合丝的冷却与键合丝表面退火液的涂覆。