[实用新型]一种18对棒多晶硅还原炉

权利要求书

1.一种18对棒多晶硅还原炉，其包括含有冷却腔的炉体(29)和布置有电极的底盘(8)，炉体(29)和底盘(8)依次与底座(20)连接，其特征在于：所述的底盘(8)是水冷式结构，其由上底板(24)、下底板(21)和连接环(23)共同围成冷却水腔(22)，底盘(8)上设置有冷却水进口(15)和冷却水出口(17)；所述电极(10)为18对，即36个电极，在底盘(8)上分3圈布置，9对电极设置在外圆周上，3对电极设置在内圆周上，6对电极设置在内、外圆周之间，电极中的正负电极在3个圆周上均逐一间隔设置；在底盘(8)上设有两个气体进口和一个气体出口，气体进口一(14)由1个连接管(13)和1个喷嘴(6)连通构成，该喷嘴(6)设置在底盘(8)中心位置；气体进口二(12)由1个水平环管(9)、9个连接支管(18)和9个喷嘴(19)连通构成，9个喷嘴(19)位于外圈和第二圈电极之间，同时9个喷嘴(19)沿同一圆周均布设置在底盘(8)上，气体出口(16)设置在底盘(8)中心位置。

2.根据权利要求1所述的一种18对棒多晶硅还原炉，其特征在于：所述的炉体(29)和底盘(8)通过容器法兰(7)和底座(20)用连接螺栓(26)连接；在炉体上的内筒筒体(4)及内筒封头(30)和夹套筒体(5)及夹套封头(31)之间形成有炉体冷却腔(3)，在炉体冷却腔(3)内设有若干导流板(2)。

3.根据权利要求1所述的一种18对棒多晶硅还原炉，其特征在于：所述的炉体(29)的炉体冷却腔总进水口(27)设置在炉体(29)的下部，炉体(29)的炉体冷却腔出水口(32)设置在与夹套封头(31)连通的预热器口(33)的夹层上，冷却水从炉体冷却腔总进水口(27)进入炉体冷却腔(3)，沿着导流板(2)从炉体冷却腔出水口(32)流出。

4.根据权利要求1所述的一种18对棒多晶硅还原炉，其特征在于：所述的气体出口(16)与进气的连接管(13)、底盘上的冷却水进口(15)构成集进气、出气及冷却于一体的三层夹套管结构。

5.根据权利要求1所述的一种18对棒多晶硅还原炉，其特征在于：在炉体上共设置有3个测温视镜和1个观察视镜，均采用双层玻璃结构。