[实用新型]多功能处理槽

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅片、硅料等材料的清洗处理设备，尤其涉及一种硅片、硅料等材料的清洗多功能处理槽。

背景技术

在硅片、硅料的化学处理过程中，需要对化学处理过的硅片、硅料进行各种清洗处理。现有的处理设备和手段功能单一，工作效率较低，而且难以充分的去除各种附着物、残留药液等污物，清洗的效果也不够理想。业界希望一种清洗效率高、清洗效果好的设备和手段。

发明内容

本实用新型是要解决上述技术问题的问题，提出一种高效、清洗效果好的多功能处理槽。

本实用新型提出的多功能处理槽，其包括上边缘带有溢流口的处理槽体、设于该处理槽体内腔下部的支撑杆和鼓泡管、与该处理槽体配合的喷淋盖、设置于喷淋盖上的喷淋管、设于所述处理槽体底部并与其内腔联通的快排阀。

其中，所述的溢流口可以呈波浪状。

本实用新型集鼓泡、溢流、快排、喷淋等多种清洗功能于一身，具有强大的处理能力。采用多种清洗方式相结合的处理手段，可以有效彻底的去处各种附着物、残留药液等污物。同时，本实用新型通用于各种处理过程中，可针对不同的需要采用不同的处理方式。各功能优势互补，互不干涉，以便达到最好的清洗效果。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型作出详细的说明，其中：

图1为本实用新型较佳实施例结构示意图。

具体实施方式

图1示出了本实用新型较佳实施例的基本结构，所述的多功能处理槽，其特包括一中空的处理槽体1，其上边缘带有呈波浪状的溢流口7、其内腔下部设有支撑杆4和与外部气源连接的鼓泡管5；与该处理槽体1配合的喷淋盖2、设置于喷淋盖上与外部供水系统连接的喷淋管3；处理槽体1底部还设有一与其内腔联通的快排阀6。

处理硅片时，将装有硅片的清洗篮8放入盛有化学处理液的处理槽体1内的支撑杆4上，根据工艺需要清洗硅片。例如，可以通过化学处理液的浸泡、通过鼓泡管5曝气、通过溢流口7排除泡沫、在通过快排阀6排去化学处理液，并通过喷淋管3喷水冲洗硅片；通过各种清洗处理，可彻底的去除硅片上的各种附着物、残留药液等污物。

本实用新型集鼓泡、溢流、快排、喷淋等多种清洗功能于一身，具有强大的处理能力。通用于各种处理过程中，可针对不同的需要采用不同的处理方式。各功能优势互补，互不干涉，以便达到最好的清洗效果。

以上结合较佳实施方式对本实用新型进行了具体描述，但是本技术领域内的技术人员可以对这些实施方式做出多种变更或变化，这些变更和变化应落入本实用新型保护的范围之内。