[实用新型]铜铟镓硒太阳电池缓冲层制备装置有效

专利信息
申请号: 200920252219.5 申请日: 2009-12-29
公开(公告)号: CN201655826U 公开(公告)日: 2010-11-24
发明(设计)人: 李巍;刘兴江;方小红;李微 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第十八研究所
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 天津盛理知识产权代理有限公司 12209 代理人: 王来佳
地址: 300381 天*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 铜铟镓硒 太阳电池 缓冲 制备 装置
【权利要求书】:

1.一种铜铟镓硒太阳电池缓冲层制备装置,其特征在于:该装置由两端带有放卷架和收卷架的传送带、位于传送带上方的镀液喷淋装置、清洗装置及干燥箱构成;镀液喷淋装置由相互垂直并内路相通的两根以上镀液出泵管道和导液管构成,镀液出泵管道通过增压计量泵连接镀液进泵管道,导液管上固装有镀液喷嘴;清洗装置由带有清洗喷嘴的去离子水出泵管道,通过水泵与去离子水进泵管道连接为一体。

2.根据权利要求1所述的铜铟镓硒太阳电池缓冲层制备装置,其特征在于:所述传送带下面与镀液喷嘴对应处固装有衬底加热器和衬底加热器下面的废液槽。

3.根据权利要求1所述的铜铟镓硒太阳电池缓冲层制备装置,其特征在于:所述盛有镀液的容器下面有镀液加热器。

4.根据权利要求2所述的铜铟镓硒太阳电池缓冲层制备装置,其特征在于:所述衬底加热器串联有热偶单元。

5.根据权利要求3所述的铜铟镓硒太阳电池缓冲层制备装置,其特征在于:所述镀液加热器串联有热偶单元。

6.根据权利要求1所述的铜铟镓硒太阳电池缓冲层制备装置,其特征在于:传送带的下面与清洗喷嘴对应处固装有废水槽。

7.根据权利要求1所述的铜铟镓硒太阳电池缓冲层制备装置,其特征在于:所述镀液进泵管道和镀液出泵管道表面包有电加热套,电加热套上串联有热偶单元。

8.根据权利要求1所述的铜铟镓硒太阳电池缓冲层制备装置,其特征在于:所述镀液喷嘴为扁口喷嘴、锥口喷嘴、柱状喷嘴或高压喷嘴中的一种。 

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