[实用新型]皮秒激光加工设备的高精度Z轴载物平台

权利要求书

1.皮秒激光加工设备的高精度Z轴载物平台，其特征在于：在Z平台底板(1)上固定Z固定板(2)，在所述Z固定板(2)上安装竖立的导轨(3)，在所述导轨(3)上安装一可沿导轨(3)上下运动的升降板(4)，用于控制升降板(4)上下运动的压电陶瓷电机(7)安装在Z平台底板(1)上，所述压电陶瓷电机(7)驱动升降板(4)沿导轨(3)上下运动，在所述升降板(4)的前侧面固定一竖立的前侧板(8)，在所述升降板(4)的后侧面固定一竖立的后侧板(9)，前侧板(8)与后侧板(9)为平行对称设置；还在所述Z固定板(2)上设置传感器(10)，相应地，在前侧板(8)或后侧板(9)的内侧面上设置传感器感应片(11)；在所述Z固定板(2)上设置读数头，相应地，在前侧板(8)或后侧板(9)的内侧面上贴有光栅尺(12)；在所述前侧板(8)和后侧板(9)上放置治具板(16)，在所述治具板(16)上沿横向设置一横定位块(17)、沿纵向设置一纵定位块(18)。

2.根据权利要求1所述的皮秒激光加工设备的高精度Z轴载物平台，其特征在于：在所述Z平台底板(1)上且位于前侧板(8)内侧的左右两端分别设置一定滑轮机构，对应地，在所述Z平台底板(1)上且位于后侧板(9)内侧的左右两端也分别设置一定滑轮机构；在前侧板(8)右端的定滑轮机构与后侧板(9)右端的定滑轮机构之间安放右配重块(15)，前侧板(8)的右端连接一钢丝绳(14)，钢丝绳(14)经前侧板右端的定滑轮机构(13)牵引于右配重块(15)，后侧板(9)的右端也连接一钢丝绳，钢丝绳经后侧板(9)右端的定滑轮机构牵引于右配重块(15)；相应地，在前侧板(8)左端的定滑轮机构与后侧板(9)左端的定滑轮机构之间安放左配重块，前侧板(8)的左端连接一钢丝绳，钢丝绳经前侧板(8)左端的定滑轮机构牵引于左配重块，后侧板(9)的左端也连接一钢丝绳，钢丝绳经后侧板(9)左端的定滑轮机构牵引于左配重块。

3.根据权利要求1所述的皮秒激光加工设备的高精度Z轴载物平台，其特征在于：在所述治具板(16)上且与前侧板(8)和后侧板(9)锁固的部位设置有平面度调节螺丝孔(19)。

4.根据权利要求1所述的皮秒激光加工设备的高精度Z轴载物平台，其特征在于：所述Z固定板(2)的顶部设置有止挡螺栓(5)。

5.根据权利要求1所述的皮秒激光加工设备的高精度Z轴载物平台，其特征在于：所述Z固定板(2)呈L形结构，包括一水平面和一垂直面，Z固定板(2)的水平面与Z平台底板(1)固定连接，Z固定板(2)的垂直面上安装竖立的导轨(3)。

6.根据权利要求1所述的皮秒激光加工设备的高精度Z轴载物平台，其特征在于：所述压电陶瓷电机(7)通过电机安装板(6)固定在Z平台底板(1)上，所述电机安装板(6)呈L形结构，包括一水平面和一垂直面，电机安装板(6)的水平面与Z平台底板(1)固定连接，电机安装板(6)的垂直面上安装压电陶瓷电机(7)。