[实用新型]超高纯氨水的生产系统有效
| 申请号： | 200920234552.3 | 申请日： | 2009-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN201473330U | 公开（公告）日： | 2010-05-19 |
| 发明（设计）人： | 戈士勇 | 申请（专利权）人： | 江阴市润玛电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C01C1/02 | 分类号： | C01C1/02;C01C1/14;B01D53/14;B01D53/18 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人： | 唐纫兰 |
| 地址： | 214423 江苏省江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高纯 氨水 生产 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种超高纯氨水的生产系统，其特征在于：所述系统包括液氨罐(1)、缓冲罐(2)、第一清洗塔(3)、第二清洗塔(4)、第三清洗塔(5)、吸收塔(6)和过滤器(7)，所述液氨罐(1)的出口与缓冲罐(2)底部进口相连，所述缓冲罐(2)顶部出口与第一清洗塔(3)底部进口相连，所述第一清洗塔(3)顶部出口与第二清洗塔(4)底部进口相连，所述第二清洗塔(4)顶部出口与第三清洗塔(5)底部进口相连，所述第三清洗塔(5)顶部出口与吸收塔(6)底部进口相连，所述吸收塔(6)出口与过滤器(7)相连。
2.根据权利要求1所述的一种超高纯氨水的生产系统，其特征在于：所述吸收塔(6)上设置有水冷却系统。
3.根据权利要求1或2所述的一种超高纯氨水的生产系统，其特征在于：所述液氨罐(1)、缓冲罐(2)、第一清洗塔(3)、第二清洗塔(4)、第三清洗塔(5)、吸收塔(6)和过滤器(7)都采用不锈钢或聚四氟乙稀材料制作。
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