[实用新型]驱动设备及具有该驱动设备的液晶面板检测仪

权利要求书

1.一种驱动设备，包括平行设置的第一纵轴和第二纵轴，所述第一纵轴和第二纵轴上分别设有支架，所述支架之间连接有横轴，其中所述支架上设有与所述纵轴相对的空气轴承，所述空气轴承用于使所述横轴和支架悬浮在所述纵轴上，而且所述支架还连接有动力装置，所述动力装置驱动所述支架和横轴在悬浮状态下沿所述纵轴移动，其特征在于，在所述纵轴、横轴和支架之间设有力平衡调节装置，所述力平衡调节装置用于维持所述横轴和支架处于悬浮状态时的受力平衡。

2.根据权利要求1所述的驱动设备，其特征在于，所述力平衡调节装置包括：嵌设在所述纵轴中的第一磁铁、以及设在所述支架上的第二磁铁，所述第二磁铁与所述第一磁铁位置相对且极性相同。

3.根据权利要求2所述的驱动设备，其特征在于，所述横轴包括固定部和滑动部，所述滑动部和所述支架相连，所述固定部中设有滑道，所述滑动部滑动地设在所述滑道中，所述力平衡调节装置还包括设在所述固定部和滑动部之间的弹簧。

4.根据权利要求2或3所述的驱动设备，其特征在于，所述第一磁铁和/或所述第二磁铁为电磁铁或永磁铁。

5.根据权利要求1所述的驱动设备，其特征在于，所述横轴包括固定部和滑动部，所述滑动部和所述支架相连，所述固定部中设有滑道，所述滑动部滑动地设在所述滑道中，所述力平衡调节装置包括设在所述固定部和滑动部之间的弹簧。

6.根据权利要求2、3或5所述的驱动设备，其特征在于，在所述支架上设有与所述纵轴相对的距离传感器。

7.根据权利要求6所述的驱动设备，其特征在于，所述动力装置为线性电机或步进电机。

8.一种液晶面板检测仪，包括检测探头，所述检测探头连接有驱动设备，所述驱动设备包括平行设置的第一纵轴和第二纵轴，所述第一纵轴和第二纵轴上分别设有支架，所述支架之间连接有横轴，其中所述支架上设有与所述纵轴相对的空气轴承，所述空气轴承用于使所述横轴和支架悬浮在所述纵轴上，而且所述支架还连接有动力装置，所述动力装置驱动所述支架和横轴在悬浮状态下沿所述纵轴移动从而带动所述检测探头移动，其特征在于，在所述纵轴、横轴和支架之间设有力平衡调节装置，所述力平衡调节装置用于维持所述横轴和支架处于悬浮状态时的受力平衡。

9.根据权利要求8所述的液晶面板检测仪，其特征在于，所述力平衡调节装置包括：嵌设在所述纵轴中的第一磁铁、以及设在所述支架上的第二磁铁，所述第二磁铁与所述第一磁铁位置相对且极性相同。

10.根据权利要求9所述的液晶面板检测仪，其特征在于，所述横轴包括固定部和滑动部，所述滑动部和所述支架相连，所述固定部中设有滑道，所述滑动部滑动地设在所述滑道中，所述力平衡调节装置还包括设在所述固定部和滑动部之间的弹簧。

11.根据权利要求8所述的液晶面板检测仪，其特征在于，所述横轴包括固定部和滑动部，所述滑动部和所述支架相连，所述固定部中设有滑道，所述滑动部滑动地设在所述滑道中，所述力平衡调节装置包括设在所述固定部和滑动部之间的弹簧。