[实用新型]数控多晶硅硅芯多线切割机床的导轮组件

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种硅材料加工领域的数控切割机床，具体的说是一种采用金刚石线的多晶硅硅芯多线切割的数控机床上的布线导轮组件。

背景技术

目前多晶硅线切割的方法如金刚石工具切割法，美国Diamond WireTechnology公司研制出采用金刚石线的数控多晶硅细长硅芯多线切割机床，用于硅芯的制备，见图1。通过利用电镀上金刚石微粒的细钢丝线在被加工工件上高速地往复运动或单向移动，将硅棒压在该机床用金刚石线交叉组成的方形线网上，从而将该硅棒切割成细长的硅芯。其优点十分明显，10-12小时可以切割出200根左右2米长的7×7或8×8毫米的方形硅芯，电力消耗小，加工效率高；其最大缺点主要在于操作不方便，如图1所示，除需要在地面A操作外，还需要在距地面3米高的操作平台B和距地面5米高的操作平台C上下进行绕线，操作难度大，操作人员需上下跑动，安全性差，一旦切割过程中发生断线，重新修复布线时处理困难，处理时间长，此机床使用2根金刚石线组成2组线网，需要2套收放线卷绕驱动机构，维护复杂，成本高，机床总高度在6700毫米以上，对安装地点的房屋要求高，并且其线网结构固定，只能切出方形或长方形的硅芯，无法切出表面积更大的菱形硅芯，以缩短多晶硅还原炉的反应时间，提高单位时间的多晶硅产量。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种数控多晶硅硅芯多线切割机床的导轮组件，解决应用该导论组件所应用的多晶硅硅芯多线切割机床设备维护复杂、成本高的问题，可以根据客户的需要实现菱形、方形、长方形等硅芯形状的切割。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现：

数控多晶硅硅芯多线切割机床的导轮组件，包括切割导线轮和导向导线轮，所述切割导线轮成对布置，共两对，并在切割工件的位置形成交叉，对应每个切割导线轮设有一组多个导向导线轮，所述导向导线轮组为双层设置，切割导线轮和导向导线轮的轴心水平并且相对形成倾斜角度；导向导线轮与切割导线轮相同，也成对布置，成对的导向导线轮组与成对的切割导线轮通过切割线交错连接形成循环，最后形成多线并行；该倾斜角度可根据所要达到的硅芯形状不同，对于需要切割成方形的硅芯形状，倾斜角度为45度，对于需要切割成菱形的硅芯形状，倾斜角度可以为30或60度，对于需要切割成长方形的硅芯形状，可以根据长方形的长宽比来确定。

本发明创造实现了由单个切割硅线达到多线切割的效果，并且可以实现方形、长方形、菱形等不同形状的硅芯切割。

附图说明

下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。

图1是美国Diamond Wire Technology公司硅芯多线切割机床的工作平台示意图。

图2是本实用新型的数控多晶硅硅芯多线切割机床的导轮组件的主视图；

图3是俯视图；

图4是立体图；

图5是菱形切割导轮组件的结构示意图。

图中：1、切割导线轮；2、导向导线轮；3、工件；4、切割线。

具体实施方式

如图2-4所示，数控多晶硅硅芯多线切割机床的导轮组件，包括切割导线轮1和导向导线轮2，所述切割导线轮1成对布置，共两对，并在切割工件3的位置形成交叉，对应每个切割导线轮1设有一组多个导向导线轮2，所述导向导线轮组2为双层设置，切割导线轮1和导向导线轮2的轴心水平并且相对形成倾斜角度；导向导线轮2与切割导线轮1相同，也成对布置，成对的导向导线轮组2与成对的切割导线轮1通过切割线4交错连接形成循环，最后形成多线并行；该倾斜角度可根据所要达到的硅芯形状不同，对于需要切割成方形的硅芯形状，倾斜角度为45度；如图5所示，对于需要切割成菱形的硅芯形状，倾斜角度可以为30或60度，对于需要切割成长方形的硅芯形状，可以根据长方形的长宽比来确定布线的间隔。

本发明创造实现了由单根切割硅线达到多线切割的效果，并且可以实现方形、长方形、菱形等不同形状的硅芯切割。