[实用新型]全自动双面曝光机有效
申请号: | 200920216232.5 | 申请日: | 2009-09-18 |
公开(公告)号: | CN201532523U | 公开(公告)日: | 2010-07-21 |
发明(设计)人: | 张鸿明 | 申请(专利权)人: | 川宝科技股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H05K3/00 |
代理公司: | 天津三元专利商标代理有限责任公司 12203 | 代理人: | 郑永康 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 全自动 双面 曝光 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种曝光机,尤其涉及一种全自动双面曝光机。
背景技术
现有的全自动双面曝光机,通常是将各作业流程设计于同一平面及同一轴线进行,而基本的作业流程就有入料→第一面曝光→翻板→第二面曝光→出料等流程;故全自动双面曝光机仅装设基本流程的作业装置,就已经有相当程度的机台长度,若要进一步加装提升曝光品质的额外装置(诸如清洁装置),则必须加长机台长度,不然就是受限于机台长度而舍弃安装。然而,全自动双面曝光机所需的曝光光束,通常可由双光源或是单光源搭配光路切换模组予以提供;而如图1所示的单光源曝光模组10,是将单一光源11的光束于镜碗12中集光后,向上投射至一可切换偏转向的冷光镜13,反射后经由第一聚焦镜14a照射于第一平面反射镜15a,再反射至第一曲面反射镜16a,而反射成平行光束照射于第一曝光区;再者,将该冷光镜13切换偏转向,则可经第二聚焦镜14b、第二平面反射镜15b与第二曲面反射镜16b,而由第二光路照射于第二曝光区。
次按,若将上述的单光源曝光模组10应用于现有的全自动双面曝光机,现有的设计方式是将单一光源11及其镜碗12设置于曝光机台的后侧,避开曝光机各作业装置的设置轴线,以压低单光源曝光模组10的设置高度,以免曝光机台的整体高度过高。但如此一来,最终所形成的平行光束照射面相对于曝光区并未完全重合(具有偏斜角度),故必须加大平行光束的照射面积才能照射到整个曝光区,但加大照射面积势必会降低照射强度,亦即必须增长曝光时间而降低产速。
实用新型内容
本实用新型所要解决的主要技术问题在于,克服现有技术存在的上述缺陷,而提供一种全自动双面曝光机,具有不增加机台长度即可加装品质提升装置的功效,和具有平行光束照射面与曝光区完全重合的功效。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
一种全自动双面曝光机,其特征在于,包括:一机台,于同一轴线上至少设置有入料区、第一面曝光区、下降翻板区、上升供板区、第二面曝光区与出料区;一入料移载装置,跨设于该机台的入料区、第一面曝光区与下降翻板区的上方,而将板件由入料区移载至第一面曝光区,再由第一面曝光区移载至下降翻板区;第一曝光装置,设置于该机台的第一面曝光区,而以搭配有升降机构的第一顶升平台,承接该入料移载装置自入料区移载过来的板件,再由该第一顶升平台将板件顶升贴靠于第一曝光平台的下缘;一下降翻板装置,设置于该机台的下降翻板区,而以一搭配有升降机构及翻转机构的吸板平台,吸着住该入料移载装置自第一面曝光区移载过来的板件,并下降且将板件翻面,而由第一输送平台承接板件;一上升供板装置,设置于该机台的上升供板区,而以搭配有升降机构的第二输送平台,承接自第一输送平台输送过来的板件且上升供板;一出料移载装置,跨设于该机台的上升供板区、第二面曝光区与出料区的上方,而将由该上升供板装置供板的板件移载至第二面曝光区,再由第二面曝光区移载至与出料区;第二曝光装置,设置于该机台的第二面曝光区,而以搭配有升降机构的第二顶升平台,承接该出料移载装置自上升供板区移载过来的板件,再由该第二顶升平台将板件顶升贴靠于第二曝光平台的下缘;一单光源曝光模组,设置于该机台的上方且与各工作区位于同一轴线上,而将单一光源的光束于镜碗中集光后,向上投射至一可切换偏转向的冷光镜,反射后经由第一或第二聚焦镜照射于第一或第二平面反射镜,再反射至第一或第二曲面反射镜,而反射成平行光束照射于第一或第二曝光平台。
前述的全自动双面曝光机,其中机台于下降翻板区与上升供板区间进一步设置有清洁区,而将一清洁装置设置于该清洁区,该清洁装置乃对自第一输送平台输送至第二输送平台的板件,进行板件表面的清洁工作。
前述的全自动双面曝光机,其中单光源曝光模组的冷光镜,以伺服马达切换其偏转向。
本实用新型的有益效果是,具有不增加机台长度即可加装品质提升装置的功效,和具有平行光束照射面与曝光区完全重合的功效。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的结构主视图。
图2是本实用新型的结构右侧视图。
图中标号说明:
10 单光源曝光模组
11 单一光源
12 镜碗
13 冷光镜
131 伺服马达
14a 第一聚焦镜
14b 第二聚焦镜
15a 第一平面反射镜
15b 第二平面反射镜
16a 第一曲面反射镜
16b 第二曲面反射镜
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