[实用新型]全自动多功能传感器几何测量系统

权利要求书

1.一种全自动多功能传感器几何测量系统，包括底座、安装于底座上的X向工作台以及安装于X向工作台底部的Y向工作台；垂直竖立安装于底座上的立柱、安装于立柱上端的防护外罩壳体以及安装于立柱与防护外罩壳体之间的Z向工作台；其特征在于：所述的Z向工作台包括固定于防护外罩壳体顶部的滑轨座、与滑轨座连接的Z轴升降传动台组、设置于Z轴升降传动台组一侧部的Z轴高精密直线导轨、设置于Z轴升降传动台组另一侧部的Z轴精密光栅尺、安装于Z轴升降传动台组底端的Z向升降移动台、设置于Z向升降移动台外侧的光学影像集成装置、安装于Z向升降移动工作台底部的滑板、穿过于滑板上的光学影像集成装置尾端连接的LED程控照明装置、安装于LED程控照明装置一侧部的与滑板连接一起的探针触发测头、安装于LED程控照明装置另一侧部的与中间隔板连接一起的CCD激光位移传感器。

2.根据权利要求1所述的全自动多功能传感器几何测量系统，其特征在于：所述的X向工作台包括安装于立柱底端处的X向传动组、安装于X向传动组上面的X向移动平台、安装于X向移动平台上面的玻璃载物台、安装于X向移动平台底面两侧的高精密交叉滚子导轨以及安装于高精密交叉滚子导轨侧面的X向精密光栅尺。

3.根据权利要求1所述的全自动多功能传感器几何测量系统，其特征在于：所述的Y向工作台包括安装于X向移动平台底端的Y向移动平台、安装于X向精密光栅尺底面的Y向精密光栅尺、安装于Y向精密光栅尺侧面的Y向传动组以及安装于Y向传动组背面的Y向高精密直线导轨。

4.根据权利要求1所述的全自动多功能传感器几何测量系统，其特征在于：所述的防护外罩壳体包括安装于立柱上的立柱防护外罩体、安装于立柱防护外罩体正面的外围防护外罩体以及安装于底座侧面的底座防护外罩体。

5.根据权利要求1所述的全自动多功能传感器几何测量系统，其特征在于：所述的光学影像集成装置包括固定于滑板上的集成装置、连接于集成装置下端的单筒显微镜以及安装于单筒显微镜下端上的连接件。

6.根据权利要求1所述的全自动多功能传感器几何测量系统，其特征在于：所述的LED程控照明装置包括照明灯、安装于照明灯内部的镜头、安装于镜头上部的折射镜、设置于照明灯内部的表面光环以及安置于镜头下部的工件。

7.根据权利要求1所述的全自动多功能传感器几何测量系统，其特征在于：所述的探针触发测头包括触发主体、设置于触发主体上端的探针螺帽以及设置于触发主体下端的探针测头。

8.根据权利要求1所述的全自动多功能传感器几何测量系统，其特征在于：所述的CCD激光位移传感器包括传感器主体、设置于传感器主体内部的垂直方向上的半导体镜头、活动安装于半导体镜头上的发射器镜头、安装于传感器主体内部的倾斜方向的接收器镜头以及安装于接收器镜头上面的CCD。

9.根据权利要求1所述的全自动多功能传感器几何测量系统，其特征在于：所述的Z轴升降传动台组是由伺服马达驱动滚珠丝杠旋转带动Z向升降移动台动换为直线运动的传动机构。